اختبار التعزيز - حدد ما إذا كان هناك تسرب حقيقي في نظام الفراغ

اختبار التعزيز - حدد ما إذا كان هناك تسرب حقيقي في نظام الفراغ

يسمى اختبار ارتفاع الضغط أيضًا اختبار الاحتفاظ بالضغط أو اختبار الاحتفاظ بالفراغ. عندما يتم إغلاق الصمام بين مضخة الفراغ والغرفة تحت الفراغ ، سيرتفع ضغط الغرفة (الارتداد) بسبب التهوية أو التسرب الافتراضي أو التسرب. من خلال تقسيم زيادة الضغط على الوقت المنقضي ، يمكن حساب معدل ارتفاع الضغط لنظام الفراغ ورسمه على أنه المنحنى الموضح في الشكل التالي. عادةً ما يتم التعبير عن ارتفاع الضغط وسرعة السقوط باعتباره PA/HR ، لمعدات الفراغ الصناعي العام ، واختبار الضغط ، وارتفاع الضغط ، يكون أكثر من PA/HR يحتاج إلى التحقيق وحل المشكلة ، بعض المعدات الفراغ المرتفعة ، تحتاج إلى 0.5 PA/HR أو معدل ارتفاع في الضغط. كما هو موضح أعلاه في النظام A ، إذا كان قياس معدل ارتفاع الضغط ثابتًا عدة مرات ، فمن المحتمل أن يكون نظامًا مع تسرب حقيقي. في المقابل ، بالنسبة للنظام B في الشكل أعلاه ، مع مرور الوقت ، ينخفض معدل ارتفاع الضغط ، أي أن زيادة معدل ضغط النظام يتباطأ مع مرور الوقت ، مما يشير إلى وجود تسرب افتراضي أو تنفيس (قد يكون هناك أيضًا تسرب صغير). لن تحدد اختبارات زيادة الضغط وزيادة الضغط التسريبات ، وستشير فقط إلى جميع مصادر الغاز (التسرب الفعلي والتسرب المفرط أو الظاهري) ، تأثير التراص. في حالة الاشتباه في تسرب حقيقي ، فإن الخطوة التالية عادة ما تكون للكشف عن التسرب باستخدام كاشف تسرب الهيليوم.

تتوفر شركة IKS PVD ، وآلة الطلاء الزخرفية ، وآلة طلاء الأدوات ، وآلة طلاء DLC ، وآلة الطلاء البصري ، وخط طلاء فراغ PVD ، ومشروع مفتاح الدوران. اتصل بنا الآن ، البريد الإلكتروني: iks.pvd@foxmail.com