توصيف درجة الفراغ ، وحدة وتقسيم منطقة التفريغ

توصيف درجة الفراغ ، وحدة وتقسيم منطقة التفريغ

IKS PVD ، نحن تصنيع معدات طلاء الفراغ PVD ، اتصل معنا الآن ، iks.pvd @ foxmail.come

ليس من المعقول جداً استخدام الضغط لتمثيل درجة الفراغ ، التي استخدمت في تاريخ قياس الفراغ بواسطة مقياس الضغط من نوع u.

في نظام التفريغ العام ، يتم استخدام الكمية الفيزيائية الهيدروستاتيكية لضغط الغاز المحايد المتناحي عادة للتعبير عن درجة التفريغ. لذلك ، فإن قياس درجة الفراغ لا يأتي إلا لقياس الضغط. ومع ذلك ، ينبغي إيلاء اهتمام خاص لظروف القياس ، وهي ثابتة (حركة عشوائية) ، وحالة ثابتة ، وغاز محايد واحد متناحي في حاوية منتهية. في هذه الحالة ، فإن توزيع السرعة القصوى ، وقانون تشتت الجيبين ، ومفهوم الضغط الهيدروستاتيكي (p = nkT ، v = 1 / 4nc ، p = ρ gh) متناسقة نسبياً مع الواقع الموضوعي ، فإن قياس درجة الفراغ بسيط نسبياً وسهل.

وفقا لتعريف درجة الفراغ ، من الأفضل التعبير عن درجة الفراغ بالكثافة الجزيئية n ، وليس من المتناقض التعبير عن درجة الفراغ بالضغط. عندما يتم قياس الضغط ، يكون الغاز عمومًا في حالة توازن ويفي بقانون توزيع السرعة في maxwell ، أي أن p = nkT صحيح. درجة حرارة الغاز ثابتة في وقت القياس ، لذلك فإن ضغط غاز p يتناسب مع الكثافة الجزيئية n. بمعنى آخر ، يكون الضغط مقياسًا للكثافة الجزيئية ، لذا يمكن التعبير عن الفراغ كضغط.

في أبحاث الفضاء ، فإن هدف البحث هو حركة الفضاء اللامتناهي (1 ~ 10 KMS - 1 أو أعلى) وتحت تأثير بيئة بيئة معقدة غير مستقرة وثابتة ، فإن قانون توزيع السرعة القصوى وقانون تشتيت جيبلي ليس بالضرورة ، فقدت المعنى المادي الأصلي ، وبالتالي فإن ضغط قياس فراغ أكثر تعقيدا وصعوبة.

بشكل عام ، هو شائع ويستخدم للتعبير عن درجة الفراغ بالضغط ، ولكنه ليس الوحيد. يمكن استخدام المعلمات التالية للتعبير عن درجة الفراغ:

عندما تكون درجة الفراغ عالية جدا ، أي عندما تكون الكثافة الجزيئية صغيرة جدا ، يكون التقلب الإحصائي واضحا جدا. على سبيل المثال ، عندما يكون الضغط p = 10-12pa ، يكون التقلب الإحصائي أكبر من 5 مرات 10-2 ، وقد فقد الضغط أهميته الحقيقية. وبالتالي ، في بعض الحالات ، يكون الضغط مجرد مؤشر نسبي للكميات الأخرى .

1. سؤال وجواب

وحدات فراغ؟

ضغط الغاز المحدد بواسطة اصطدام جزيء غاز على السطح هو معدل تغير الزمن للمكون الرأسي لزخم جزيء الغاز المتصادم مع مساحة سطح الوحدة ، أي القوة المستلمة لكل وحدة مساحة في باسكال أو باسكال.

1 pa = 1 Nm - 2

في الهندسة ، أحيانًا تكون قيمة pa صغيرة جدًا ، و kPa و MPa غالبًا ما تستخدم للتعبير عن الضغط. فراغ منخفض ، يعبر عنه أحيانا باسم "الفراغ في المئة" ، مثل مضخة فراغ مضخة الماء ، ومضخة التفريغ الترددية ومضخة الفراغ جذور الهواء على التوالي غالبا ما يعبر عنها في هذا الفراغ وحدة. عندما يكون الضغط p> 102Pa ، يكون الفراغ هو دلتا.

حيث: p0 - الضغط الجوي القياسي ، Pa

تقسيم المناطق

مع وحدة لقياس درجة الفراغ ، يمكن التعبير عن درجة الفراغ بشكل كمي. ومع ذلك ، في الوقت الحاضر ، بلغ نطاق الضغط المنخرط في تكنولوجيا الفراغ 20 طلبًا من الحجم ، لتسهيل الاستخدام ، في بعض الأحيان يكون من الضروري فقط الإشارة إلى النطاق العام لدرجة الفراغ ، عادةً ما تنقسم نوعيًا إلى عدة مناطق تقريبًا . تعتبر الخصائص الفيزيائية للحركة الجزيئية الغازية في حالة الفراغ ونطاق العمل الفعال لمضخة التفريغ ومقياس الفراغ في الاعتبار على أساس تقسيم المناطق.

فيما يتعلق بتقسيم مناطق الفراغ في الصين ، تنص شروط تقنية الفراغ (gb3163-1982) على ما يلي:

يتم تقسيم الفراغ الخشن والفراغ المنخفض والفراغ العالي وفقًا لمتوسط المسار الحر لجزيئات الغاز مقارنة بالحجم المميز d للحاوية. الاعتبار الرئيسي هو ما إذا كان الاصطدام بين جزيئات الغاز أو الاصطدام بين جزيئات الغاز وجدار الجهاز يلعب دورا حاسما في وقوع الظواهر الفيزيائية.

يتم تعيين الحدود بين فراغ عالية والفراغ عالية جدا كما 10-6Pa. السبب الرئيسي هو النظر في آلية الامتزاز المادية فراغ. فقط عندما يكون الضغط p <10-6pa واضحًا="" ،="" يمكن="" الحصول="" عليه="" بواسطة="" مضخة="" الانتشار="" لاستخراجه="" ،="" ويتم="" قياس="" الضغط="" بواسطة="" مقياس=""> أما بالنسبة للحد الفاصل بين التفريغ العالي جداً والفراغ العالي جداً ، فذلك لأن التقلبات الإحصائية (أكبر من 5 * 10-2) تحدث عندما تكون p <10-12>

تنقسم مناطق الفراغ المذكورة أعلاه إلى مناطق تمثل نطاق ضغط ، وذلك لسبب ما زال يتم التعبير عن الضغط بالدرجات. ومع ذلك ، في الفراغ المنخفض ، والفراغ العالي ، والفراغ العالي جداً والفراغ العالي جداً ، يكون الضغط المشار إليه مختلفًا بشكل أساسي ، فقط مؤشر نسبي للكميات الأخرى.

وترد في الجدول 1 تفاصيل الخصائص الفيزيائية للفراغ ، ومضخة التفريغ ، ومقياس الفراغ المستخدمة في كل منطقة.

مع تطور تكنولوجيا الفراغ ، تغير أيضًا تقسيم مناطق الفراغ.