نظام فراغ فائق الارتفاع

نظام فراغ فائق الارتفاع

بالنسبة لبعض أنظمة الفراغ ذات المتطلبات الخاصة ، مثل تلك التي تتطلب فراغا فائقا أو فراغا فائق الارتفاع بدون زيت ، وفي الوقت نفسه تلبي احتياجات الضخ الخام ويمكن التعامل مع كمية كبيرة من الغاز المنبعث أثناء العملية ، يمكن استخدام النظام المشترك لتلبية المتطلبات. FIG. 1 يظهر الرسم التخطيطي لنظام فراغ من النفط خالية من آلة طلاء فراغ فائقة عالية. المضخة الرئيسية هي مضخة أيون التخبط، والتي تم تجهيزها مع مضخة تسامي التيتانيوم من أجل تحسين درجة فراغ وتفريغ كمية كبيرة من الغاز التي تنتجها المواد المتبخرة. يمكن أن يصل الفراغ النهائي إلى 6.67×10-7Pa. مضخة ما قبل الضخ مع مضخة منخل الجزيئية كما المضخة الرئيسية. وبالإضافة إلى ذلك، تم تجهيز النظام أيضا مع فخ الامتزاز - مضخة ميكانيكية نظام ضخ النفط الخام، عندما يكون الضغط أكبر من 1333Pa، المضخة الميكانيكية ليس من السهل العودة النفط، المضخة الميكانيكية الفراغات مباشرة غرفة فراغ، عندما يكون الضغط من غرفة فراغ أقل من 1333Pa، المضخة الميكانيكية من خلال فخ الامتزاز 9 من غرفة فراغ الالتفافية.

1. فراغ الغرفة 2. فائقة عالية صمام بوابة فراغ 3. مضخة أيون البصق 4. مضخة تسامي التيتانيوم 5. صمام فراغ فائق الارتفاع 6. صمام الإفراج 7. صمام فراغ عال 8. مضخة المنخل الجزيئي 9. فخ الامتزاز 10. مضخة ميكانيكية
FIG. 1 مخطط تخطيطي لنظام فراغ من النفط خالية من آلة طلاء فراغ فائقة عالية

شركة IKS PVD، آلة طلاء زخرفية، آلة طلاء أدوات، آلة طلاء بصري، PVD فراغ خط الطلاء، يتوفر مشروع تسليم المفتاح. اتصل بنا الآن، البريد الإلكتروني:iks.pvd@foxmail.com