نظام تفريغ عالي الجودة مدمج، مضخة أيونية متناثرة - مجموعة مضخة تصعيد من التيتانيوم

نظام تفريغ عالي الجودة مدمج، مضخة أيونية متناثرة - مجموعة مضخة تصعيد من التيتانيوم

الشكل 5-17 نظام التفريغ الفائق المركب: 1- غرفة التفريغ 2- صمام بوابة التفريغ الفائق 3- مضخة الأيونات المتطايرة - مجموعة مضخات التسامي المصنوعة من التيتانيوم 4- Ultra -صمام بوابة مفرغ عالي 5- محبس بارد 6- مضخة انتشار 7- صمام خط أنابيب أمامي 8- صمام خط أنابيب مفرغ فائق 9- صمام تسييل 10- مضخة فراغ ميكانيكية

يوضح الشكل 5-17 نوعًا آخر من أنظمة التفريغ فائقة الارتفاع المجمعة. النظام مناسب لأفران الختم الفراغي، وأفران صفائح التنتالوم، وغيرها من المعدات. المضخة الرئيسية للنظام هي مجموعة مضخة التسامي الأيونية المتطايرة من التيتانيوم. يمكن أن يصل الحد الفراغي للغرفة المفرغة إلى 5×10-7Pa. النظام مزود بوحدة مكونة من مضخة توزيع الزيت ومضخة ميكانيكية، والتي تستخدم للضخ الخشن والضخ المسبق كمضخة رئيسية، ويمكنها ضخ الكمية الكبيرة التي يتم إطلاقها أثناء العملية

شركة IKS PVD، آلة طلاء الديكور، آلة طلاء الأدوات، آلة طلاء DLC، آلة الطلاء البصري، خط طلاء الفراغ PVD، المشروع الجاهز متاح. تواصل معنا الآن، البريد الإلكتروني: iks.pvd@foxmail.com