تتم مراجعة تطوير الهدف تيتانيوم المغنطرون

تطوير الاخرق المغنطروني يتم مراجعة هدف التيتانيوم

IKS PVD ، PVD آلة تصنيع طلاء الفراغ ، اتصل معنا الآن ، iks.pvd @ foxmail.com

باعتبارها مادة فيلم رقيقة وظيفية هامة في مجال المعلومات الإلكترونية ، التيتانيوم عالية النقاء في الطلب السريع مع التطور السريع في الصين IC ، وعرض الطائرة ، والطاقة الشمسية وغيرها من الصناعات. تعد تقنية الرش المغنطروني (PVD) واحدة من التقنيات الرئيسية لإعداد مواد الأغشية الرقيقة ، كما أن المواد المستهدفة العالية لمواد تبخير التيتانيوم هي المادة الرئيسية المستهلكة في تكنولوجيا الاشتعال المغنطروني ، التي تتمتع بفرص تطبيقية واسعة في السوق. المواد المستهدفة التيتانيوم كمواد الطلاء ذات القيمة المضافة العالية ، في جوانب مثل نقاء الكيميائي ، والأداء التنظيمي لديه متطلبات صارمة ، والمحتوى التقني العالي ، وصعوبة المعالجة كبيرة ، وبدأت الشركات المصنعة للمواد الهدف في بلادنا في وقت متأخر نسبيا في مجال عالية إعادة تصنيع المواد الهدف ، متخلفة نسبيا من حيث النقاء المواد الخام الأساسية ، وتقنيات التحضير مثل هدف المراقبة ، التكنولوجيا الأساسية لتقنية التشكيل في الخارج وأيضا فجوة معينة. تهدف إلى تطوير التطبيقات عالية المستوى ، وتطوير مواد الهدف الاخرق تيتانيوم عالية الأداء هو إجراء مهم لتحقيق البحوث المستقلة وتطوير المواد الرئيسية في صناعة تصنيع المعلومات الإلكترونية وتعزيز التحول الراقية وتطوير صناعة التيتانيوم .

متطلبات التطبيق والأداء من هدف التيتانيوم

تستخدم المواد المغنطرزة لإشعال المواد المغناطيسية بشكل رئيسي في صناعة الإلكترونيات والمعلومات ، مثل الدوائر المتكاملة وشاشة عرض الطائرة وطلاء زخرفة مجال صناعة الديكور المنزلي ، مثل طلاء زخرفة الزجاج وطلاء زخرفة المحور. متطلبات المواد المستهدفة تي للصناعات المختلفة هي أيضا مختلفة جدا ، بما في ذلك أساسا: الطهارة ، والبنية المجهرية ، وأداء اللحام ، ودقة الأبعاد وعدة جوانب ، ومتطلبات مؤشر محدد هي كما يلي :

1) الطهارة: الدوائر غير المتكاملة: 99.9 ٪. الدوائر المتكاملة ل: 99.995 ٪ ، 99.99 ٪.

2) البنية المجهرية: دارة غير متكاملة: متوسط الحبوب أقل من 100 ميكرون. الدائرة المتكاملة: متوسط الحبوب أقل من 30 ميكرون ، متوسط الحبوب المتناهية الصغر أقل من 10 ميكرون

3) أداء اللحام: الدائرة غير المتكاملة: مختلط ، مونومر ؛ دائرة متكاملة من أجل: مونومر ، لحام ، لحام نشر

4) دقة الأبعاد: للدوائر غير المتكاملة: 0.1 مم ؛ للدوائر غير المتكاملة: 0.01mm.

1.1 مادة الهدف Ti للدائرة المتكاملة

إن نقاوة المواد المستهدفة من الدوائر المتكاملة هي بشكل أساسي أكبر من 99.995٪ وما فوق ، وهي تعتمد في الوقت الحالي بشكل أساسي على الواردات. في عام 2013 ، حققت صناعة الدوائر المتكاملة في الصين إيرادات مبيعات قدرها 250.8 مليار يوان وحجم استيراد قدره 231.3 مليار دولار أمريكي ، لتصبح أكبر سلعة استيراد للصين للمرة الأولى. في عام 2014 ، بلغت إيرادات مبيعات صناعة الدوائر المتكاملة 267.2 مليار يوان ، وبلغ حجم الواردات 217.6 مليار دولار أمريكي. تحتل المادة المستهدفة للدارة المتكاملة حصة كبيرة في سوق المواد المستهدفة العالمي.

المواد المستهدفة من Ti: يتم تركيز إنتاج Ti عالي النقاوة بشكل رئيسي في الولايات المتحدة واليابان وبلدان أخرى ، مثل Honeywell في الولايات المتحدة ، toho في اليابان و Osaka titanium صناعة اليابان. منذ عام 2010 ، أطلقت بكين معهد البحوث المعدنية غير الحديدية ، وصناعة التيتانيوم zunyi و ningbo chuangrun على التوالي منتجات Ti عالية النقاء المحلية ، ولكن لا يزال يتعين تحسين استقرار المنتجات.

Ti: بنية الفضاء هدف التطوير المبكر للسباحة مسبك كبير ، والاستخدام الرئيسي من 100 ~ 150 مم آلة الاخرق المغنطروني ، والطاقة الصغيرة ، فيلم الرش أكثر سمكا ، حجم الشريحة أكبر ، أداء واحد من المواد المستهدفة يمكن أن تلبي متطلبات الاستخدام من الجهاز في ذلك الوقت ، الدائرة المتكاملة مع مادة الهدف Ti أساسا من مونومر 100 ~ 150 ملم ومزيج من الهدف ، مثل النموذج النموذجي 3180 ، نوع 3290 مادة الهدف ، إلخ. المرحلة الثانية ، وفقا لتطور قانون مور ، رقاقة ، خط العرض الضيق ، مسبك تستخدم أساسا آلة 150 ~ 200 ملم الاخرق ، من أجل تحسين مساحة الربح ، آلة زيادة الطاقة الاخرق ، وهذا يتطلب زيادة حجم الهدف ، مع الحفاظ على الموصلية الحرارية العالية ، وانخفاض الأسعار و قوة معينة ، يتم إعطاء هذه الفترة تي الهدف المادي عن طريق لحام سبائك الألومنيوم لوحة الكترونية معززة لحام والنحاس وسبائك اللوحة الخلفية اثنين من الهياكل الأولوية ، مثل TN النموذجي ، TTN اكتب ، اكتب المواد المستهدفة Endura5500 ، إلخ. في المرحلة الثالثة ، مع تطوير الدوائر المتكاملة ، يصبح عرض خط رقاقة أضيق. في هذا الوقت ، تستخدم المصانع رقاقة تأخر أساسا آلات 200 ~ 300mm الاخرق. من أجل زيادة مساحة الربح ، تزداد قوة الاخرق للأجهزة ، الأمر الذي يتطلب زيادة حجم المادة المستهدفة ، مع الحفاظ على الموصلية الحرارية العالية والكثافة الكافية. في هذه الفترة ، يلح هدف Ti بشكل أساسي بلوحة خلفية من سبيكة النحاس ، مثل هدف نوع SIP الرئيسي.

تي معالجة المواد المستهدفة وجوانب التصنيع: السوق في وقت مبكر في الداخل والخارج ، من قبل الولايات المتحدة واليابان وغيرها من الشركات المصنعة الكبيرة المحتكر الهدف ، بعد 2000 سنة من الصناعة التحويلية المحلية تدريجيا في السوق المستهدفة ، هدف نهاية منخفضة لبدء استيراد عالية النقاء تي معالجة المواد الخام ، في السنوات الأخيرة من التطور السريع للشركات المحلية تي تصنيع مواد الهدف ، توسع حصتها في السوق تدريجيا لتايوان وأوروبا والولايات المتحدة والأسواق الأخرى ، مثل يويان مليون الذهب وجيانغ فنغ الإلكترونية هدفان التركيز المؤسسة تصنيع المواد لسنوات عديدة. شركات تصنيع الهدف المحلي أيضا تطوير المواد المستهدفة بالاشتراك مع الشركات المصنعة آلة الاخرق magnetron المحلية لتعزيز تطوير صناعة الدوائر المتكاملة المغنطرون الدوائر المتكاملة المحلية.

1.2 تي الهدف المواد لعرض الطائرة

تتضمن شاشات العرض المسطحة: شاشة عرض الكريستال السائل (LCD) ، شاشة عرض البلازما (PDP) ، شاشة عرض لامعة (el) ، عرض انبعاث للحقل (FED).

في الوقت الحاضر ، فإن سوق شاشات الكريستال السائل هو الأكبر في سوق عرض الشاشة المسطحة مع حصة من أكثر من 90 ٪. ويعتقد أن شاشات الكريستال السائل هي أكثر التطبيقات احتمالية لعرض أجهزة العرض المسطحة ، فهي توسع بشكل كبير نطاق تطبيقات الشاشة ، وشاشات الكمبيوتر المحمول ، وشاشات الكمبيوتر المكتبي ، والتلفزيونات عالية الوضوح LCD ، والاتصالات المتنقلة ، وجميع أنواع منتجات LCD الجديدة من النوع هي ضرب الناس عادات المعيشة ، وتعزيز التنمية السريعة لصناعة المعلومات في العالم. تكنولوجيا Tft-lcd هي نوع من التكنولوجيا التي تجمع بين تكنولوجيا الإلكترونيات الدقيقة وتكنولوجيا البلورات السائلة بمهارة. في الوقت الحاضر ، أصبحت التكنولوجيا السائدة في عرض الطائرة ، والتي تنقسم إلى mo mo و al-ti و cu-mo وغيرها من العمليات.

يتم تشكيل الغشاء الرقيق للشاشة المستوية في الغالب عن طريق التصفيح. الأهداف Al، Cu، Ti، Mo وغيرها هي الأهداف المعدنية الرئيسية لعرض الطائرة في الوقت الحاضر. نقاوة أهداف Ti لعرض الطائرة أكثر من 99.9٪. يمكن تصنيع هذه المواد الخام في الصين. خط إنتاج Tft-lcd6 يستخدم مواد تي تي المستهدفة مع حجم كبير ، وتستخدم المواد المستهدفة لوحة المياه الخلفية سبيكة النحاس تبريد في الهيكل ، ويتم تطبيق الباندا CLP.

في الوقت الحاضر ، خط إنتاج الجيل الأعلى في العالم الذي تم بناؤه بشكل مستقل عن طريق الصين - ينتج خط إنتاج HeFei 10.5 بشكل رئيسي شاشة عرض الكريستال السائل فائقة الوضوح ذات الحجم الكبير (uhd) ، مع قدرة تصميمية تبلغ 90،000 طبقة زجاجية في الشهر. حجم الركائز الزجاجية هو 3،370x2،940mm ، بإجمالي استثمارات 40 مليار يوان. سيتم طرحه في الإنتاج في الربع الثاني من عام 2018.

2. magnetron الاخرق ti إعداد الهدف التكنولوجيا

يمكن تقسيم تكنولوجيا تجهيز المواد الخام Ti وطرق المواد المستهدفة وفقا لعملية الإنتاج إلى (يشار إليها فيما يلي باسم Blelet EB) وفراغ صهر شعاع الإلكترون الفراغ من فرن القوس الكهربائي صهر الرمادي (المشار إليها فيما بعد باسم الباري (VAR)) اثنين أنواع كبيرة ، في عملية إعداد المواد المستهدفة ، بالإضافة إلى التحكم الدقيق في نقاوة المواد ، والكثافة ، وحجم الحبوب واتجاه الكريستال ، وحالة عملية المعالجة الحرارية ، فإن عملية تشكيل لاحقة تحتاج إلى رقابة صارمة ، لضمان جودة المادة المستهدفة.

بالنسبة للمواد الخام ذات درجة عالية من النقاء Ti ، فإن عناصر النجاسة ذات نقطة الانصهار العالية في مصفوفة Ti يتم إزالتها عادة عن طريق التحليل الكهربائي ، ثم تنقيها بواسطة ذوبان شعاع الإلكترون الفراغي. صهر إلكترون فراغ شعاع هو استخدام قذف شعاع الالكترون عالية الطاقة على سطح المعدن ، ومن ثم تزيد درجة الحرارة تدريجيا حتى يذوب المعدن. تكون العناصر ذات ضغط البخار العالي هي أول من يتبخر ، وستبقى العناصر ذات ضغط البخار المنخفض في المصهور. كلما زاد الفرق بين عناصر الشوائب وضغط البخار في المصفوفة ، كان تأثير التنقية أفضل. ومع ذلك ، فإن ميزة تكرير الفراغ بعد الذوبان هي أنه يمكن إزالة عناصر الشوائب في Ti Matrix دون إدخال شوائب أخرى. لذلك ، عندما يتم تحلل تيار كهربائي Ti بنسبة 99.99٪ بواسطة شعاع الالكترون في بيئة عالية الفراغ (10-4 أعلاه) ، فإن عناصر الشوائب (Fe، Co، Cu) مع ضغط بخار تشبع أعلى من ضغط بخار التشبع لعنصر Ti نفسه ( سوف تعطى الحديد ، المشارك ، النحاس) في المواد الخام الأولوية للموجة ، وذلك للحد من محتوى الشوائب في المصفوفة وتحقيق الغرض من التطهير. يمكن الحصول على معدن Ti عالي النقاء بدرجة نقاء 99.995 + من خلال الجمع بين الطريقتين.

بالنسبة للمواد الخام ذات النقاوة بنسبة 99.9٪ Ti ، يتم استخدام الإسفنج Ti في الصف 0 غالباً ليتم صهره باستخدام فرن القوس الكهربائي القابل للاستهلاك الفراغي ، ثم يتم فتح الفراغ عن طريق التشكيل الساخن لتشكيل فراغ صغير الحجم. تي المواد الخام المعدنية من إعداد الطريقتين من خلال التحكم في تشوه الميكانيكية الحرارية هو مجهرية كاملة سطح الاخرق متناسقة ، ثم تشكيله ، ملزمة ، عملية التنظيف والتعبئة في إعداد الدوائر المتكاملة مع المغنطر الاخرق ، المادة المستهدفة ل 300 ملم ويستخدم الجهاز لارتفاع درجة عالية من مادة الهدف تي، في وقت سابق من الاخرق سطح المواد الهدف قبل التعبئة والاخرق تقلل تركيبها على آلة الاخرق يستخدم لحرق الهدف المستهدف (حرق - ingtime).

تي طريقة إعداد المواد المستهدفة من الدوائر المتكاملة لديها تكنولوجيا معقدة وتكلفة عالية نسبيا .

3. المتطلبات التقنية للمواد المستهدفة Ti

من أجل ضمان جودة الأفلام المودعة ، يجب مراقبة جودة المواد المستهدفة بدقة. بعد الكثير من الممارسة ، تشتمل العوامل الرئيسية المؤثرة على جودة مادة Ti المستهدفة على النقاوة ومتوسط حجم الحبوب واتجاه البلورة واتساق البنية والشكل الهندسي والحجم ، إلخ.

3.1 الطهارة

إن نقاوة مادة Ti المستهدفة لها تأثير كبير على خصائص أفلام الرذاذ.

كلما زادت درجة نقاء المادة المستهدفة من Ti ، تقل جزيئات العنصر النجاسة في فيلم Ti ، مما ينتج عنه خصائص أفضل للسينما ، بما في ذلك مقاومة التآكل ، والخواص الكهربائية والبصرية. ومع ذلك ، في التطبيقات العملية ، تختلف متطلبات النقاء لمواد Ti المستهدفة لتطبيقات مختلفة. على سبيل المثال ، فإن طلاء الزخرفة العامة بمتطلبات نقاء المواد المستهدفة من Ti ليست مطلوبة ، كما أن الدوائر المتكاملة وجسم الشاشة والحقول الأخرى ذات متطلبات نقاوة مادة T المستهدفة أعلى بكثير. كما مصدر الكاثود في الاخرق ، فإن عناصر الشوائب ومسامات شحوم هي مصادر التلوث الرئيسية. سيتم إزالة شوائب الثغور أساسا في عملية الكشف عن العيوب السبيكة غير المدمرة. ستنتج شوائب الثغرة غير المتطايرة ظاهرة تفريغ طرف (Arcing) أثناء التصفيح ، ثم تؤثر على جودة الطبقة الرقيقة. ومع ذلك ، لا يمكن أن ينعكس محتوى عنصر النجاسة إلا في نتائج تحليل العنصر بأكمله. وكلما انخفض محتوى النجاسة الكلي ، كلما زادت درجة نقاء المادة المستهدفة من Ti. المواد المستهدفة المحلية غير عالية النقاء تيتانيوم المحلي في وقت مبكر ، هو إشارة إلى شركة تصنيع المواد المستهدفة المحلية والأجنبية تي ، بعد 2013 القياسية الصادرة عن الفيلم الإلكتروني YS / T893-2013 مع مواد عالية الاشتعال التيتانيوم الطهارة عالية الجودة ، اللوائح ثلاثة نقاوة تي الهدف المواد محتوى واحد النجاسة ومجموع مطالب النجاسة الإجمالية ، هذه المواصفة القياسية توحيد تدريجيا نقاوة Ti مشغول من الطلب في السوق المستهدفة.

3.2 متوسط حجم الحبوب

بشكل عام ، تكون المادة المستهدفة من Ti بنية متعددة البلورات ، مع حجم حبوب يتراوح من ميكرون إلى مليمتر. إن معدل الإشباع للهدف الحبيبي ذو الحجم الصغير يكون أسرع من هدف الحبيبات الخشنة ، كما أن توزيع سمك الرواسب المترسبة للأغشية أكثر توازنا للأهداف ذات الاختلاف الضئيل في حجم الحبيبات على سطح الركام. وقد وجد أنه إذا تم التحكم في حجم الحبيبة المستهدفة للتيتان أقل من 100 ميكرون ، ويتم الاحتفاظ بتغير حجم الحبيبات في حدود 20٪ ، يمكن تحسين جودة الأفلام الرشاشة بشكل كبير. يجب أن يكون متوسط حجم الحبيبات التي تستهدفها Ti في الدوائر المتكاملة أقل من 30 ميكرونًا ، وأن يكون متوسط حجم الحبوب أقل من 10 ميكرون.

3.3 تبلور التوجه

معدن Ti هو هيكل سداسي رتب بكثافة. وحيث أنه من السهل على الذرات المستهدفة من الأيونات أن تفرز بشكل تفضيلي على طول اتجاه الذرات السداسية الأكثر ترتيبًا خلال عملية التصفيح ، يمكن زيادة معدل الصمامة عن طريق تغيير البنية البلورية للمادة المستهدفة لتحقيق أعلى معدل إشباع. في الوقت الحاضر ، فإن عائلة الكريستال من Ti التي تخرث السطح {1013} من أكثر الدارات المتكاملة هي أكثر من 60٪ ، اتجاه الحبوب للمواد المستهدفة التي تنتجها شركات مختلفة مختلفة اختلافًا طفيفًا ، كما أن للاتجاه البلوري لهدف Ti أيضًا تأثير كبير على توحيد سمك فيلم الاخرق. حجم الفيلم من عرض الطائرة وطلاء الديكور سميك نسبيا ، وبالتالي فإن متطلبات توجيه الحبوب من المواد المستهدفة تي هي منخفضة نسبيا.

3.4 توحيد الهيكل

هيكل التجانس هو أيضا واحد من المؤشرات الهامة لتقييم جودة المواد المستهدفة. بالنسبة لهدف Ti ، ليس فقط مستوى الاخرق من المادة المستهدفة ، ولكن أيضا تكوين الاتجاه الطبيعي ، اتجاه الحبوب ومتوسط حجم حجم الحبوب على مستوى الاخرق مطلوبة. وبهذه الطريقة فقط يمكن الحصول على فيلم Ti بسماكة موحدة وجودة موثوق بها وحجم ثابت للحبيبات في نفس الوقت في فترة خدمة المادة المستهدفة من Ti.

3.5 الشكل والحجم الهندسي

ينعكس بشكل رئيسي في دقة التصنيع والجودة ، مثل حجم الآلات ، التسطيح السطحي ، الخشونة ، إلخ. إذا كان انحراف الزاوية لفتحة التركيب كبيرًا جدًا ، فلا يمكن تثبيته بشكل صحيح ؛ سمك صغير سيؤثر على عمر خدمة الهدف ؛ إن حجم سطح الختم وأخدود الختم قاسيان للغاية ، مما يؤدي إلى مشاكل في الفراغ بعد تثبيت المادة المستهدفة وتؤدي إلى تسرب المياه. يمكن أن يجعل المعالجة بالتخميد السطحي المستهدف السطح من مادة الهدف ممتلئًا بنصائح محدبة غنية ، تحت تأثير تأثير الطرف ، سيتم تحسين إمكانات هذه التلميحات المحدبة بشكل كبير ، مما يؤدي إلى تفريغ وسائل الإعلام ، ولكن بشكل كبير للغاية جودة الاخرق المحدبة و الاستقرار سلبي.

3.6 الترابط اللحام

في الوقت الحاضر حول ورق أبحاث اللحام المعدني غير التقليدي TI / Al أكثر ، عادةً من أجل نقطة انصهار عالية من التيتانيوم و لحام الانتشار بنقطة انصهار منخفضة من مادة الألومنيوم ، يعتمد بشكل رئيسي على تكنولوجيا الربط في اتجاه واحد أو اتجاهين أو تقنية الربط بالمكنسة الكهربائية المفرغة تم اعتماد تقنية الضغط المتساوي الأضلاع من أجل تحقيق التيتانيوم ، والمواد المعدنية الألومنيوم من الضغط العالي في الترابط المباشر نشر درجات الحرارة المنخفضة. الشركات المصنعة المحلية لحام سبائك التيتانيوم / النحاس و النحاس لديها العديد من التطبيقات ، ولكن القليل من الأوراق البحثية.

4. احتمال المواد المستهدفة Ti

قواعد التصنيع العالمية المستهدفة تتجمع بسرعة في آسيا. مع التطور السريع للصناعات المحلية ذات التقنية العالية مثل الدوائر المتكاملة لأشباه الموصلات ، وعرض الطائرة وطلاء الديكور ، يتوسع سوق المواد المستهدف في الصين يوما بعد يوم ، وأصبح تدريجيا واحدا من أكبر مناطق الطلب في العالم لمواد الأغشية الرقيقة ، يوفر الفرص والتحديات لتطوير صناعة المواد المستهدفة للصين.

في السنوات الأخيرة ، في الصناديق صناعة الدوائر المتكاملة ، والمشاريع الرئيسية الوطنية للعلوم والتكنولوجيا (01 و 02 و 03) والصناديق المحلية ، ورؤساء فريق ، والاستثمار في صناعة الدوائر المتكاملة هي درجة حرارة كبيرة ، وفقا للإحصاءات ، فقط 2015 ، 2016 اثنين سنوات ، أعلن المحلية تحت الإنشاء أو التخطيط لبدء خط إنتاج بسكويت الويفر يصل إلى 44 ، 300 منهم المادة مم 18 ، المادة 200 مم 20 ، 6 150 ملم. مدفوعا بالطلب الضخم في السوق ، لا بد أن تستقطب صناعة المواد المستهدفة انتباه واهتمام المعاهد والمؤسسات البحثية ذات الصلة في الصين ، واستثمرت الموارد البشرية والمادية والمالية في البحث والتطوير وإنتاج رشقات مغناطيسية مضبوطة استهداف.

وقد تم تطبيق مادة تي المستهدفة ، باعتبارها فرعًا فريدًا من مجال المواد المستهدفة ، في كل من عملية شبه الموصلات وعملية النحاس ، وقد تم استخدامها على نطاق واسع في صناعة شاشات الكريستال السائل وصناعة طلاء الديكور. في الوقت الحاضر ، تتركز أساسا تي الهدف المواد البحث والتطوير وقواعد الإنتاج في بكين وقوانغدونغ وجيانغسو وتشجيانغ وقانسو وغيرها من الأماكن. بسبب نقاوة المواد الخام من الهدف ، والحد من معدات الإنتاج وتكنولوجيا تكنولوجيا البحث والتطوير ، تي صناعة المواد المستهدفة تي في بلدنا لا يزال في مرحلة مبكرة ، المؤسسة المحلية إنتاج تي الهدف الهدف ينتمي إلى الجودة والأساسية العتبة الفنية منخفضة ، طريقة المعالجة التقليدية ، على السعر للفوز على مستوى منخفض من منتجي المواد المستهدفة الاخرق ، أو الربح مصنع تصنيع المعدات الأصلية محدودة. واحد حجم الإنتاج الصغيرة ، متنوعة ، التكنولوجيا أيضا ليست مستقرة ، حتى الآن ، الصين (بما في ذلك تايوان) ، سوى عدد قليل من الشركات المتخصصة في إنتاج المواد المستهدفة ، مثل يويا مليون الذهب ، المؤسسة الإلكترونية جيانغ فنغ ، وإنتاج المواد المستهدفة تي حتى الآن لا يمكن تلبية احتياجات تطوير السوق ، وعدد كبير من المواد المستهدفة تي لا تزال بحاجة إلى الاستيراد من الخارج ، والمواد الخام من المواد عالية الجودة معدن تي عالية النقاوة لديها اختراق ، ولكن لا يزال معظم الاعتماد على الواردات.

المواد المستهدفة تي ، كنوع من المواد ذات غرض خاص ، لديها غرض تطبيق قوي وخلفية تطبيق واضحة. فصل تكنولوجيا تنقية المعادن من تكنولوجيا صهر المعدن Ti ، EB الكهربائية ، تكنولوجيا الكشف عن العيوب غير المدمرة Ti ، تكنولوجيا تحليل الشوائب من Ti عالي النقاء ، تكنولوجيا التحضير لهدف Ti ، تكنولوجيا إعداد آلة الاخرق ، تكنولوجيا الاخرق واختبار تكنولوجيا الاداء الرفيع للأفلام ببساطة تدرس Ti الهدف نفسه ليس له أهمية. تشمل عملية البحث والتطوير وإنتاج المواد المستهدفة من الدرجة الثانية وتحسين تطبيقاتها اللاحقة سلسلة صناعية كاملة من المواد الخام الأولية إلى شركات تصنيع معدات منتصف المسار ومصنّعي المواد المستهدفين ، وتطبيق رقاقة الطلاء المستهدف Ti Ti. إن العلاقة بين خواص المواد المستهدفة من Ti وخصائص أفلام الاخرق لا تفضي فقط إلى الحصول على خصائص الأفلام التي تفي بمتطلبات التطبيق ، ولكن أيضًا لاستخدام المواد المستهدفة بشكل أفضل ، وإعطاء الفرصة الكاملة لدورها وتعزيز تطوير صناعة المواد المستهدفة.

هو حاليا في صناعة IC في مرحلة ازدهار الصين القارية ، والفرص والتحديات تتعايش ، إذا كنت لا تستطيع اغتنام الفرصة لاستهداف تصنيع المواد وتصنيع الأفلام ومعدات الاختبار ، فإن الفجوة بين بلدنا والمستوى الدولي ستكون أكبر وأكبر ، ليس فقط غير قادر على استعادة الاحتلال الأجنبي للسوق المحلية ، وأكثر لا يمكن أن تشارك في المنافسة في السوق الدولية.