مضخة الانتشار

مضخة الانتشار

   كما نعلم جميعًا ، مضخة نشر الزيت هي نوع من المضخات غالبًا ما تستخدم في نظام التفريغ العالي. لذا ، السؤال هو ، ما هي الأساليب؟ الطرق هي كما يلي: أولاً ، اختيار الأداء الجيد لزيت مضخة النشر على ضغط حد مضخة نشر الزيت له تأثير كبير. إذا كانت الإجابة لا. 3 يتم استخدام زيت مضخة الانتشار ، يمكن أن يصل الضغط النهائي فقط إلى 10-5 pa ؛ عند استخدام 275 زيت سيليكون ، يمكن أن يصل الضغط النهائي إلى 10-7 ppa ، ويمكن زيادة الضغط النهائي بمقدار 2 من الحجم. ثانيًا ، يتغير الضغط الجزئي للغاز الذي يتم ضخه أيضًا باختلاف زيت المضخة ، وهو تأثير تكوين زيت المضخة. لذلك ، يجب اختيار مضخة نشر الزيت ذات الأداء الجيد للحصول على فراغ عالي للغاية. بما أن زيت مضخة الانتشار مهم للغاية ، كيف يجب أن نختار؟ متطلبات زيت مضخة النشر هي: الوزن الجزيئي النسبي لزيت المضخة ليكون كبيرًا ، ويكون ضغط بخار درجة حرارة الغرفة منخفضًا ، ويكون الاستقرار الحراري ومقاومة الأكسدة جيدة ، وتكون نقطة التجمد ولزوجة درجة حرارة منخفضة منخفضة ، وغير سامة ، مقاومة التآكل ، تكلفة منخفضة. تستخدم مضخة نشر الزيت ذات التفريغ العالي بشكل عام لا. 3 زيت مضخة الانتشار ، يستخدم فراغ سيليكونيًا للغاية زيت السيليكون ، يتطلب نظام فراغ عالي جدًا بدون هيدروكربونات ، تستخدم مضخة الانتشار زيت الفلور. ثانيًا ، يجب استخدام مضخة نشر زيت تكنولوجيا الخبز المعقولة للحصول على نظام فراغ عالي جدًا من الخبز بدرجة حرارة عالية ، والغرض من ذلك هو تقليل معدل المواد. يمكن للمواد الموجودة في الغلاف الجوي أن تمتص وتمتص بعض الغازات ، عندما تكون في الفراغ ، فإنها ستنتج الإمتصاص ، ويتم إطلاق الغاز ببطء ، من أجل تسريع الإمتزاز ، باستخدام الخبز.                         

خبز؟ تبدو بسيطة ، أليس كذلك؟ لا ، لا ، لا ، لا ، لا ، لا ، لا ، لا ، لا ، لا ، لا. المبدأ هو أن درجة الحرارة الأعلى أفضل ، ويمكن أن تسرع الهواء ، ولكن أيضًا للنظر فيما إذا كانت المادة يمكن أن تتحمل درجة الحرارة العالية. اخبز في درجة الحرارة المناسبة. عادة المواد المعدنية ، مثل الفولاذ المقاوم للصدأ ، درجة حرارة الخبز من 250 ℃ - 450 درجة مئوية ؛ درجة حرارة الخبز للمواد غير المعدنية هي 80 ℃ - 100 ℃ . وقت الخبز فوق 4 ساعات - 8 ساعات. وقت الخبز في الفراغ العالي للغاية هو أكثر من 24 ساعة. أداء نظام مضخة نشر الزيت المعدني النموذجي (بعد الخبز) ومكونات الغاز المتبقية في نظام التفريغ العالي للغاية لمضخة نشر الزيت المعدني. ثالثًا ، أضف جهاز مصيدة باردة لمنع التدفق العكسي لزيت المضخة ونقل زيت المضخة من خلال تدفق مدخل المضخة إلى ظاهرة الحاوية التي يتم ضخها تسمى التدفق العكسي. تسمى ظاهرة جزيئات النفط التي تتحرك على طول الجدار في الحاوية التي يتم ضخها بالهجرة العكسية. يؤثر كل من التدفق العكسي والهجرة العكسية على الضغط النهائي لنظام التفريغ. يستخدم المصيدة الباردة على نطاق واسع في نظام الفراغ العالي للغاية ، يتم تثبيتها بين مدخل المضخة وغرفة الفراغ ، لا يمكنها فقط التقاط التدفق الخلفي لبخار مضخة الانتشار والمحلول الجزئي بشكل فعال ، ولكن يمكنها أيضًا إزالة البخار من غرفة فراغ. نظام فراغ عالي للغاية مع مصائد مختلفة. يمكن الحصول على تفريغ عالي للغاية من 10-8 pa ~ l0-10pa (أو أعلى) بعد الخبز وإزالة الغازات بدرجة حرارة عالية. المصيدة الباردة الشائعة الاستخدام هي مصيدة النيتروجين الباردة الباردة ، لأنه في درجة حرارة النيتروجين السائل ، يكون ضغط بخار زيت المضخة أقل بكثير من متطلبات الفراغ العالية جدًا. يجب أن يضمن تصميم مصيدة النيتروجين البارد أن الجزيئات التي تمر عبر المصيدة ستلبي السطح البارد ، ويجب أن تكون البنية معقولة. بعد تركيب مصيدة النيتروجين الباردة ، يتم تقليل سرعة ضخ مضخة نشر الزيت بما لا يزيد عن 40٪.

يعد الحد من الانتشار العكسي للغاز الذي يتم ضخه أحد العوامل التي تقيد مضخة الانتشار للحصول على فراغ عالي جدًا. ترتبط مكافحة انتشار الغاز بالكتلة الجزيئية. كلما كانت الكتلة أصغر ، كلما كانت مقاومة الانتشار أسهل. هناك طريقتان لمنع الانتشار العكسي للهيدروجين في مضخة الانتشار: أولاً ، تقليل ضغط العادم عند مخرج مضخة الانتشار ، باستخدام مضختي نشر على التوالي ؛ والثاني هو تركيب مصيدة التسامي التيتانيوم المبردة بالنيتروجين السائل على أنبوب مدخل مضخة الانتشار للقبض على الهيدروجين المضاد للانتشار.

IKS PVD Technology (Shenyang) Co.، Ltd ، الشركة المصنعة لآلة طلاء الفراغ PVD من الصين ، المنتج الرئيسي

يحتوي على: آلة طلاء زخرفية ، آلة طلاء أداة ، آلة طلاء بصري ، خط طلاء PVD. اتصل بنا الآن. البريد الإلكتروني: iks.pvd@foxmail.com