طريقة ترسيب البخار الفيزيائي لـ DLC
May 27, 2024| تشتمل طريقة ترسيب البخار الفيزيائي لـ DLC على التبخر الفراغي، والتبخر بالتسخين بالمقاومة، والتبخر بالتسخين التعريفي، والطلاء الأيوني بالكاثود الساخن، والطلاء الأيوني القوسي، والطلاء الأيوني التفاعلي، والطلاء الأيوني RF، والطلاء الأيوني بالتفريغ المستمر، وما إلى ذلك. وتتمثل الميزة البارزة في أن عمليات تصريف الغاز المختلفة يتم إدخاله في ترسيب البخار بحيث تتم عملية الترسيب بأكملها في البلازما، مما يحسن طاقة الجسيمات بشكل كبير. سرعة تشكيل الفيلم للطلاء الأيوني سريعة، ورابطة قاعدة الفيلم جيدة، وخاصية طلاء الفيلم جيدة، ويمكن ترسيبها في درجات حرارة منخفضة. تستخدم تقنية الترسيب القوسي الفراغي للكاثود (FCVA) للمرشح المغناطيسي ملف مرشح مغناطيسي لتصفية الجزيئات الكبيرة والذرات المحايدة التي ينتجها مصدر القوس، بحيث تصل جميع أيونات الكربون تقريبًا إلى الركيزة، ويمكن إعداد أفلام DLC خالية من الهيدروجين مع ارتفاع معدل الترسيب. يستخدم بعض الأشخاص تقنية FCVA لصنع طبقة كربون خالية من الهيدروجين مع محتوى رابطة sp3 يصل إلى 90% وصلابة تصل إلى 95 جيجا باسكال، والتي تشبه خصائصها مواد الماس متعدد البلورات. تعتمد عملية الرش على مبدأ تفريغ التوهج والرش الكاثودي. تتمثل طريقة رش المغنطرون في استخدام رش الأرجون أيون Ar لرش أهداف الجرافيت من خلال التردد المتوسط DC أو وضع RF. يختلف توزيع الطاقة لذرات الكربون المتناثرة وفقًا لطاقة وأنواع الأيونات المتناثرة. مزايا هذه الطريقة هي درجة حرارة الترسيب المنخفضة، المعدات البسيطة، مساحة الترسيب الكبيرة، ويمكن ترسيب الفيلم عالي المقاومة والفيلم العازل.
شركة IKS PVD، آلة طلاء الديكور، آلة طلاء الأدوات، آلة طلاء DLC، آلة الطلاء البصري، خط طلاء الفراغ PVD، المشروع الجاهز متاح. تواصل معنا الآن، البريد الإلكتروني: iks.pvd@foxmail.com