المواد التجريبية وطرق تأثير مصدر قوس الحالية على هيكل فيلم القصدير
Jun 22, 2018| في هذه الورقة ، تم ترسيب أفلام TiN الرقيقة على ركيزة الفولاذ المقاوم للصدأ و Si wafer بواسطة آلة طلاء أيونات متعددة القوس. تمت دراسة تأثير مصدر التيار القوسي على البنية والخصائص القبلية للأغشية الرقيقة TiN من مبدأ طلاء أيونات متعدد القوس.
المواد التجريبية والطرق
المادة الركيزة هي الفولاذ المقاوم للصدأ (1Cr18Ni9Ti) من 20 ملم × 20 ملم × 2 مم ، مع رقائق Si. تم إعداد الفيلم على آلة طلاء أيونات متعددة القوس. كانت العينة مصقولة ميكانيكيا ، وغسلها بالقلويات ، ونظفت بالموجات فوق الصوتية في الكحول ، وأخيراً جفت بالكامل في غرفة طلاء نظيفة. قبل عملية الطلاء ، تم تنظيف الركيزة من قبل Ar + الحفر لمدة 5 دقائق. وكان معدل تدفق غاز الأرجون أثناء الطلاء صفراً ، وكان معدل التدفق الثابت للقدرة N2 يبلغ 0.22 SLM / s. معلمات العملية المحددة مذكورة في الجدول 1.
Table.1 معلمات عملية ترسيب الفيلم TiN
| مصدر قوس الحالي (a) | الضغط (x10-Pa) | درجة الحرارة من Sudstrate (℃) |
| 40 | 4.8 | 290 |
| 50 | 4.5 | 306 |
| 60 | 4.3 | 326 |
| 70 | 3.3 | 345 |
| 80 | 2.4 | 30 |
| 90 | 1.3 | 398 |
| 100 | 1.0 | 402 |
وقد لوحظ التشكل السطحي ومورفولوجية سطح الكسر للفيلم عن طريق المسح المجهري للكشف عن المجال الإلكتروني (FE-SEM). تم قياس صلابة فيلم TiN بواسطة جهاز اختبار الصغر مع الحمل 25 غم وكان وقت التحميل 10 ثوانٍ. تم قياس معامل الاحتكاك للفيلم عن طريق جهاز المختبر الذي تم تغييره ذاتيًا. يتم دمج عينة الفيلم TiN مع الفولاذ A3 لتشكيل زوج من أزواج الاحتكاك. أثناء الاختبار ، يتم إصلاح العينة العليا ، يدور القرص الصلب A3 في الاحتكاك الجاف ، وسرعة الدوران هي 0.87rev / min ، والحمل التجريبي 1N.