عوامل التفاوت في الأغشية الرقيقة الناتجة عن آلة Magementron Sputtering للطلاء الفراغي

تتضمن عوامل طبقة الغشاء غير المتساوية التي تسببها آلة طلاء الفراغ المغنطروني ثلاثة جوانب: حالة التفريغ ، المجال المغناطيسي وغاز الأرجون.

مبدأ العمل من آلة طلاء الفراغ المغنطروني هو أنه تحت حالات الفراغ ، إلكترون المجال المغناطيسي المتعامد لقصف الأرجون وتشكيل أيون الأرجون ، ثم قصف المواد المستهدفة ، بحيث يمكن إيداع أيون الهدف على سطح قطعة العمل لتشكيل طبقة رقيقة.

تحتاج حالة الفراغ إلى نظام الضخ للتحكم ، ويجب تشغيل كل فتحة في نفس الوقت وثابتة. إذا لم يكن الضخ موحدًا ، فإن الضغط داخل حجرة التفريغ سيكون غير منتظم. الضغط له تأثير معين على حركة الأيونات. بالإضافة إلى ذلك ، يجب التحكم في وقت الضخ. قصيرة جدا سوف يسبب فراغ غير كاف ، لكنه طويل جدا وإهدار للموارد.

المجال المغناطيسي يعمل بشكل متعامد ، ولكن من المستحيل جعل كثافة المجال المغناطيسي موحدة بنسبة 100٪. عندما يكون المجال المغناطيسي العام قويًا ، يكون سمك الفيلم كبيرًا ، ولكنه صغير على العكس ، لذلك سوف يتسبب في عدم تناسق سماكة الفيلم. ومع ذلك ، في عملية الإنتاج ، فإن عدم انتظام الفيلم بسبب عدم انتظام المجال المغناطيسي غير شائع.

يؤثر تماثل غاز الأرجون أيضًا على تماثل الأفلام ، والمبدأ مماثل للفراغ. لأن الأرجون يدخل غرفة التفريغ ، فإن الضغط داخل الحجرة سيتغير. يمكن للضغط الموحد التحكم في اتساق سماكة الفيلم لآلة طلاء الفراغ المغنطروني.

لأكثر من عقد من الزمان ، IKS متخصصة في جميع أنواع معدات تصنيع معدات طلاء الفراغ ، مكرسة للبحث والتطوير وإنتاج آلة طلاء الفراغ ، مع أحدث التقنيات تنتج باستمرار تلبية احتياجات السوق من معدات طلاء الفراغ ، وتوفير العملاء مع مخصصة الحلول والمعدات التكنولوجية.