تشكيل الأغشية الرقيقة

1. التخثر هو نتيجة امتزاز المتبادل لمصفوفة الجزيئات والذرات يتبدد

في فراغ، وعندما يمس بعض الطاقة من التبخر ذرة على سطح الركازة، ويتم تبادل الطاقة مع جزيء الركيزة بمجال القوة على سطح الركازة، ويحدث الامتزاز المادية وتشيميسوربشن بين التبخر ذرة وجزيء الركازة. الامتزاز المادية أي قوي فاندر فالس اثنين قريبة من بعضها البعض بين الجزيئات، والامتزاز الكيميائي هو الرابطة الكيميائية بين الذرات. ليس كل من تبخر ذرات يمكن الامتزاز مع جزيئات الركازة، بعض من الذرات الاحتفاظ بمعظم الطاقة الخاصة بهم، وحدث الاصطدام بعد تفكير، حتى تلك الذرات المتبخرة تمتز أنه ما زال يمكن نقلها على سطح الركازة أو الامتزاز وإجازة على سطح الركازة. وبالإضافة إلى ذلك، يوجد على سطح الركازة، اقتران بين الذرات المتبخرة ونفس النوع من الذرات تمتز على سطح الركازة. تسمى عملية التبخر ذرات تمتز بالركيزة التكتل.

وتسمى نسبة الذرة المكثف للذرة الحادث معامل كواسيرفيشن للذرة التبخر. بسبب جاذبية مختلفة بين الذرات، يختلف معامل التكتل من نفس النوع من الذرات التبخر لركائز مختلفة.

كل ذرة تبخر مختلف درجات الحرارة الحرجة لتشكيل الفيلم لركائز مختلفة ودرجة حرارة الركازة أقل من درجة الحرارة الحرجة للفيلم، فإنه يمكن إيجاز. ويمكن تفسير هذه الظاهرة أنه: عند درجة حرارة الركازة مرتفع جداً، يعكس الذرات يتبدد التعدي على سطح الركازة أو ديسوربيد. في فيلم تشكيل عملية (فيلم تشكيل الأساس القائم)، على الرغم من أن درجة حرارة الركازة تجاوز درجة الحرارة الحرجة والفيلم يمكن أن تستمر في النمو، وسيتم تغيير حالتها تبلور. في المرحلة الأولى من تشكيل الأفلام، الفيلم هو في الدولة غير متبلور أو الجسم الزجاجي، مع زيادة درجة الحرارة، والفيلم تدريجيا للانتقال يتواجد، إذا ما استمر هذا الاتجاه، فإنه سيتم تحويلها إلى مستقرة، وأخيراً إلى أفلام بلوري.

2-تشكيل عملية رقيقة

في بداية الترسيب، يتم امتصاصه على سطح الركازة موحد في بعض الأنوية التي تنمو، والهجرة، والاندماج، وتشكيل عدد من الجزر الصغيرة (كريستال كبير جمع التفاعل بين ذرات التبخر تبخر بعض الذرات، تجمع نوى معا)، ترتبط السطح القاعدي لهذه الجزر زيادة نمو مماثلة لبعضها البعض، لتشكل جزيرة كبيرة. مع الترسب، تزايد مرتفعات هذه الجزر والجزر الصغيرة، وأخيراً تم تشكيل بنية شبكة مع الخنادق على السطح كله قاعدة. وتملأ تدريجيا نتيجة للتبخر المستمر وتبخر ذرات هي أيضا بشكل مستمر المنبسطة وجزيرة في الخنادق، والخنادق كاملة في نهاية المطاف. عندما يتم ملء الخنادق والحفر في سطح القاعدة، تواصل الذرات المتبخرة بناء جميع أنواع الأفلام على هذه الهياكل.

تحت المجهر الإلكتروني، يتبين أن الأفلام التبخر الحرارية التقليدية هياكل جميع أسطواني. اتجاه الاسطوانة هو نفس النمو الفيلم، ولكن خط عمودي إلى واجهة الفيلم، وهناك العديد من الفجوات بين هذه الاسطوانات. قياس الفجوة الإجمالية في الفيلم بملء الكثافة:

ملء الكثافة (P) = حجم الجزء الصلب من الفيلم (اسطوانة)/حجم الفيلم (اسطوانة + المسام)

كثافة شغل وظيفة في درجة حرارة الركازة، وفي معظم الحالات، كثافة حشو يزيد مع زيادة درجة حرارة الركازة. وبصفة عامة، زيادة معدل التبخر ويمكن زيادة كثافة الملء، وأثر معدل التبخر مهم بصفة خاصة عند انخفاض الفيلم. كما يزيد كثافة التعبئة مع زيادة سمك الفيلم. هذا على الأرجح بسبب تغيير بنية الدولة من الفيلم أثناء عملية تشكيل الفيلم. أيضا قد يكون بسبب انسداد بعض جزء من مسام الفيلم في عملية تشكيل الفيلم.