الضغط المنخفض CVD ، LPCVD
Nov 11, 2022| الضغط المنخفض CVD ، LPCVD
ترسيب البخار الكيميائي منخفض الضغط (LPCVD) هو تفاعل CVD مصمم لتقليل ضغط التشغيل لغاز التفاعل أثناء تفاعل الترسيب في المفاعل إلى حوالي 133 باسكال. ميزات معدات LPCVD: الضغط المنخفض LPCVD وبيئة الحرارة العالية يحسن معامل انتشار الغاز والمسار الحر المتوسط في حجرة التفاعل ، ويحسن بشكل كبير توحيد الفيلم ، وتوحيد المقاومة ، وغطاء الأخدود وقدرة الملء. بالإضافة إلى ذلك ، في ظل بيئة الضغط المنخفض ، يكون معدل نقل المواد الغازية سريعًا ، ويمكن إخراج الشوائب والمنتجات الثانوية للتفاعل المنتشرة من الركيزة بسرعة من منطقة التفاعل عبر الطبقة الحدودية ، بينما يمكن أن يصل غاز التفاعل بسرعة إلى سطح الركيزة من خلال الطبقة الحدودية للتفاعل. لذلك ، يمكن منع المنشطات الذاتية بشكل فعال ويمكن تحسين كفاءة الإنتاج. بالإضافة إلى ذلك ، لا يتطلب LPCVD الغاز الحامل ، وبالتالي يقلل بشكل كبير من مصدر تلوث الجسيمات. يستخدم على نطاق واسع في صناعة أشباه الموصلات ذات القيمة المضافة العالية ، مثل ترسب الأغشية الرقيقة. اتجاه التطوير الجديد لمعدات LPCVD: ضغط منخفض ، متعدد الوظائف. بالنسبة للعديد من المواد الدقيقة المستخدمة بشكل شائع ، مثل نيتريد السيليكون والبولي سيليكون ، فإن الإجهاد أمر لا مفر منه. في بعض عمليات النظم الكهروميكانيكية الصغرى الدقيقة ، يكون الضغط المنخفض للغشاء مطلوبًا لضمان تشوه الجهاز الصغير. (1) من خلال التصميم الفريد لمسار الهواء وهيكل التجويف وصيغة العملية المقابلة ، يمكن التحكم في إجهاد الفيلم على نطاق واسع بنجاح ، وتتغير مشاكل التشوه والخصائص البصرية والميكانيكية الناتجة عن وجود إجهاد الفيلم يتم حلها. (2) تلبية متطلبات العملاء لعملية الانحلال الحراري منخفض الضغط TEOS وعملية البولي سيليكون بمعدلات تشكيل فيلم مختلفة ، وضمان توحيد تشكيل الفيلم ودرجة الالتواء لرقائق السيليكون. (3) تتميز معدات LPCVD متعددة الوظائف بتقنية فريدة مقارنة بالطريقة التقليدية ، بما في ذلك التوحيد الجيد لعملية الفيلم والتكرار ، ونظام ترشيح فريد لضمان نظافة جيدة وسهولة صيانة الغرف والأجهزة ، وتكنولوجيا متقدمة للتحكم في الجسيمات ، ودرجة حرارة عالية الدقة التحكم الميداني والتكرار الجيد في درجة الحرارة ، واجهة أتمتة المصنع الكاملة ، خوارزمية الحصول على البيانات عالية السرعة ، إلخ. وفي الوقت نفسه ، تتمتع بخبرة صناعية غنية وعملية دعم ناضجة لتلبية طلب العملاء على معدات LPCVD المتطورة
شركة IKS PVD ، آلة طلاء الديكور ، آلة طلاء الأدوات ، آلة طلاء DLC ، آلة الطلاء البصري ، خط طلاء الفراغ PVD ، المشروع الجاهز متاح. اتصل بنا الآن ، البريد الإلكتروني:٪7b٪7b0٪7d٪7d