مبدأ قياس الفراغ التأين

في انخفاض ضغط الغاز، عدد الأيونات الإيجابية الناتجة عن تاين جزيئات الغاز يتناسب مع ضغط الغاز. قياس الفراغ التأين هو فراغ قياس أداة تستند إلى المبدأ القائل بأن ضغط الغاز يمكن قياسها متناسبة مع تدفق المتأينة التي تنتجها تاين الغازات تحت شروط معينة.

وفقا للأساليب المختلفة لإنتاج أيون، مقياس الفراغ للإشعاعات المؤينة الغاز قبل كاثود ساخن تنبعث الإلكترونات ويسمى مقياس فراغ تاين كاثود ساخن، وقياس التأين الكاثود الساخن يتكون من أنبوب قياس كاثود ساخن وقياس الصك. أداة قياس تتألف من أنبوب قياس التيار الكهربائي ويحيل الحالي منظم، أيون الحالية قياس مكبر للصوت. قياس التأين الكاثود الساخن يربط مع نظام فراغ المقاسة، وصمام ثلاثي مع كاثود وبوابة وجامع. جامع الجهد الكهربائي نسبة إلى الكاثود السلبية المحتملة، بينما الشبكة بالنسبة إلى الإمكانات الإيجابية الكاثود. عندما يتم قياس التأين المكهربة وساخنة، الكاثود تنبعث الإلكترونات التي تصطدم بجزيئات الغاز عملية الوصول إلى الشبكة، أسفر عن التأين إيجابية الأيونات والإلكترونات. عندما يتم إصلاح الانبعاثات الحالية، عدد أيونات إيجابية تتناسب مع ضغط الغاز تحت الاختبار. بعد أن يتم جمع الأيونات الإيجابية، أيون إيجابية يتم تضخيمه من قبل الدائرة قياس، ويمكن تلا درجة الفراغ التي تقاس بالمقياس الموافقة.

قياس التأين الكاثود الساخن مماثل لقياس صمام ثلاثي، كما هو مبين في الشكل أ، التي تتكون من اسطوانة على شكل لوحة (أيون جامع) ج، ز الشبكة ويقع في مركز الشبكة الكاثود خيوط شبكة تتألف من واو، الاسطوانة على شكل لوحة خارج الشبكة اﻷنود.

ب الشكل دائرة المراقبة الخارجية، والشبكة المحتملة بين + 100 ~ + 300 الخامس، ولوحة المحتملة بين 0 ~-50V. تنبعث الإلكترونات من الكاثود الشعيرة و بعد التدفئة الكهربائية. كما الشبكة اﻷنود ز جهد إيجابي، يتم تعجيل الإلكترونات المنبعثة، والإلكترونات تصطدم مع جزيئات الغاز الداخلية، حيث أن تاين جزيئات الغاز، وزيادة الضغط الغاز، أكبر كثافة الغاز، مزيد من الفرص الاصطدام، مع ما يترتب على ذلك من الأيونات أكثر إيجابية. السلبية الأيونات الإيجابية في لوحة أسطوانية الجهد تحت إجراء أيونات إيجابية لجذب تشكيل اللوحة الحالية، زيادة كثافة الغاز الجزيئي (أي زيادة الضغط)، أكبر لوحة الحالية، على العكس من ذلك الصغيرة.لوحة الحالية في نطاق القياس غير متناسب لقياس الضغط.

عندما يكشف النظام فراغ الغلاف الجوي، سوف تستوعب الكثير من الغازات على سطح فقاعة الزجاج قياس التأين وسطح القطب. في بيئة فراغ، الغاز سيتم الإفراج عنهم مرة أخرى، التي سوف تؤثر على دقة القياس. وللقضاء على هذا التأثير، يجب أن يطرد أنبوب المقياس قبل القياس. قياس التأين يستخدم أسلوب الخبز إلى جليحه، أنه يمكن تنشيط الشعيرة والشبكة وساخنة على التوالي، بينما مسرى لوحة عالية التردد التعريفي التدفئة باستخدام أو القصف الإلكترون، الغاز الذي أفرج عنه قبل القياس. قياس الفراغ التأين العامة لديه وظيفة كبسولة، عند درجة الفراغ هو أكثر من 1 × 10^-2 السلطة الفلسطينية، من جليحه في قياس التأين وفقا للمواصفات.