يتم ضخ مضخة التكثيف لتكثيف الغاز على سطح منخفض الحرارة بغرض الضخ

1) يتم ضخ مضخة التكثيف لتكثيف الغاز على سطح منخفض الحرارة بغرض الضخ. عندما يكون هناك سطح بارد في غرفة الفراغ ، سوف يحدث تكاثف فيه ، والذي يمكن أن يلعب دور استخراج الهواء. هذا هو مبدأ العمل لمضخة التكثيف المبردة ومصيدة البرد المبردة. يرتبط ضغط البخار المشبع ارتباطًا وثيقًا بدرجة الحرارة ، وعندما تنخفض درجة الحرارة ، ينخفض ضغط البخار المشبع.

ويبين الجدول 1 التكوين القياسي للغلاف الجوي. يوضح الشكل 1 منحنى علاقة درجة الحرارة لضغط البخار المشبع للغازات المختلفة. كما يتضح من الشكل 1 ، عندما تنخفض درجة الحرارة إلى 20 كيلو ، باستثناء غازات النيون والهيدروجين والهيليوم وغيرها من الغازات التي يصعب التكثيف ، يكون ضغط البخار المشبع لجميع المكونات الأخرى في الهواء أقل من 10-10 تور. وبالتالي ، عندما يتم تبريد حاوية محكمة الإغلاق مملوءة بالهواء إلى 20 كيلو ، يمكن أن يصل الفراغ إلى 1.2E-3 torr. في 4.2k ، يتم ترك الهيليوم فقط ، والفراغ يصل إلى 5e-5torr. يمكن اختيار السطح البارد لمضخة التكثيف بشكل عام في حوالي 14-20k ، ويتم اعتماد طريقة التنظيف بغاز التكثيف السهل أو التفريغ بالمضخات الأخرى لتقليل كمية الهيدروجين والهيليوم وغازات التكثيف الصعبة الأخرى في المضخة بشكل كبير النظام. يمكن أيضًا إزالة كمية صغيرة من غاز التكثيف الصعب الذي يتسرب إلى النظام أثناء التشغيل بواسطة مضخات أخرى.

[الجدول 1] تكوين الغلاف الجوي القياسية

[تين. 1] علاقة درجة حرارة ضغط البخار المشبع بالغازات المختلفة

IKS PVD ، نحن الشركة المصنعة لآلة طلاء الفراغ من الصين ، مزيد من التفاصيل ، اتصل: iks.pvd@foxmail.com