نوع نظام الفراغ

نوع نظام الفراغ

يُطلق على النظام الذي يتم استخدامه لتلبية متطلبات عملية معينة ويمكنه الحصول على درجة فراغ معينة وقياسها اسم نظام الفراغ.

يتكون نظام التفريغ الأكثر اكتمالاً من غرفة التفريغ، ومضخة التفريغ أو وحدة التفريغ المطلوبة، وجهاز قياس الفراغ، وقناة التوصيل، وصمام التفريغ، والمصيدة، ومكونات التفريغ الأخرى ونظام التحكم الكهربائي. يوضح الشكل 5-1 و5-2 نظام فراغ نموذجي.

▲ الشكل 5-1 مبدأ نظام التفريغ النموذجي الشكل 1: 1- صمام تنفيس الغرفة المفرغة 2- مقياس فراغ التأين 3- مقياس التفريغ الحراري 4- صمام التحكم في التدفق {{6 }} صمام التفريغ العالي 6- مضخة الانتشار 7- خزان الغاز 8- مقياس مزدوج حراري (قياس الضغط الأمامي لمضخة الانتشار) 9- صمام التفريغ الأمامي 10- حساس الضغط {{ 12}} صمام الاستخراج المسبق 12- مضخة التفريغ الجذعية 13- الصمام الالتفافي 14- صمام التنفيس الكهرومغناطيسي 15- مضخة التفريغ الميكانيكية

الشكل 5-2 الرسم التخطيطي 2 لنظام التفريغ النموذجي: 1 - غرفة التفريغ 2- مقياس تفريغ التأين 3- مقياس التفريغ المزدوج الحراري 4- صمام النزف 5- التفريغ العالي الصمام 6- المصيدة الباردة 7- مضخة الانتشار 8- صمام التفريغ الأمامي 9- صمام النزف الكهرومغناطيسي 10- مضخة التفريغ الميكانيكية 11- صمام النزف المسبق

شركة IKS PVD، آلة طلاء الديكور، آلة طلاء الأدوات، آلة طلاء DLC، آلة الطلاء البصري، خط طلاء الفراغ PVD، المشروع الجاهز متاح. تواصل معنا الآن، البريد الإلكتروني: iks.pvd@foxmail.com