ما هو مبدأ طلاء الفراغ PVD الملون؟
Oct 13, 2020| ما هو مبدأ طلاء الفراغ PVD الملون؟
تُستخدم حشوة الشعاع الجزيئي على نطاق واسع لتصنيع العديد من الأجهزة المدمجة البصرية وأفلام الشبكة الفائقة. عندما يتم قصف السطح الصلب بجسيمات عالية الطاقة ، يمكن للجسيمات الموجودة على السطح الصلب الحصول على الطاقة والهروب من السطح لترسب على الركيزة. بدأ استخدام الرش في تقنية الطلاء في عام 1870 ، واستخدم بشكل تدريجي في الصناعة بعد عام 1930 بسبب زيادة معدل الترسب. عادة ما يتم تصنيع المادة المراد ترسيبها في لوحة ، وهي هدف ، يتم تثبيتها على الكاثود. يتم وضع الركيزة على الأنود المواجه للسطح المستهدف ، على بعد عدة سنتيمترات من الهدف. بعد ضخه إلى فراغ عالي ، يتم ملء النظام بـ 10 ~ 1 باسكال من الغاز (عادة الأرجون) ، ويتم تطبيق بضعة كيلو فولت بين الكاثود والأنود ، مما ينتج عنه تفريغ توهج بين الأقطاب الكهربائية. الأيونات الموجبة الناتجة عن التفريغ تطير إلى القطب السالب تحت تأثير المجال الكهربائي وتتصادم مع الذرات الموجودة على السطح المستهدف. تسمى الذرات المستهدفة التي تهرب من السطح المستهدف بالاصطدام بالذرات المتقطعة ، والتي تتراوح طاقتها من 1 إلى عشرات الإلكترونات فولت. تترسب ذرات الرش على سطح الركيزة لتشكيل طلاء كهربائي. يختلف الطلاء الكهربائي المتطاير عن الطلاء الكهربائي بالتبخير ، ولا يقتصر على نقطة انصهار مادة الفيلم ويمكن أن يؤدي إلى رش المواد المقاومة للحرارة مثل W و Ta و C و Mo و WC و TiC. يمكن تحضير أغشية مركب الرش بالرشاش التفاعلي ، حيث تضاف غازات التفاعل (O ، N ، H2S ، CH ، إلخ) إلى غاز Ar ، وتتفاعل غازات التفاعل وأيوناتها مع الذرات المستهدفة أو الذرات المتطايرة لإنتاج مركبات ( مثل الأكاسيد والنتريد وما إلى ذلك) وترسب على الركيزة. يمكن ترسيب فيلم العزل بطريقة الرش عالية التردد. يتم تثبيت الركيزة على قطب التأريض ، ويتم تثبيت هدف العزل على القطب المعاكس. يتم تأريض مصدر الطاقة عالي التردد في أحد طرفيه ومتصل بقطب كهربائي مع هدف عازل عبر شبكة مطابقة وقدرة تيار مستمر معزولة. بعد تشغيل مصدر الطاقة عالي التردد ، يغير الجهد العالي باستمرار القطبية. ضربت الإلكترونات والأيونات الموجبة في البلازما هدف العزل عند دورات نصف موجبة وسالبة للجهد. نظرًا لأن حركة الإلكترون أعلى من الأيونات الموجبة ، فإن سطح الهدف العازل يكون سالبًا. عندما يتم الوصول إلى التوازن الديناميكي ، يكون الهدف عند احتمال انحياز سلبي ، بحيث يستمر تبعثر الأيون الموجب إلى الهدف.
شركة IKS PVD ، آلة طلاء الديكور ، آلة طلاء الأدوات ، آلة الطلاء البصري ، خط coting الفراغ PVD. اتصل بنا الآن ، البريد الإلكتروني: iks.pvd@foxmail.com