ما هو السبب سوف تؤثر على طلاء فيلم ITO بواسطة آلة طلاء الفراغ

ما هو السبب سوف يؤثر على طلاء فيلم ITO بواسطة آلة طلاء الفراغ

سيكون لأفلام ITO خصائص مختلفة في عملية الطلاء بالرش ، وأحيانًا يكون السطح منخفضًا نسبيًا ، ظاهرة تأليب ، وأحيانًا تكون هناك منطقة فاصل تآكل عالية.

أثناء الحفر ، سيكون هناك أيضًا خدوش شعاعية خطية أو نطاقات مقاومة عالية ، وفي بعض الأحيان سيكون هناك أخدود جريزوفولفين.

يعتمد توليد الخصائص المتنوعة عمومًا على اختيار المادة المستهدفة والزجاج ودرجة الحرارة ووضع الحركة المستخدم أثناء الطلاء بالرش.

تتكون المواد المستهدفة الحالية المستخدمة بشكل شائع من ITO التي تنتجها عملية التكليس ، من مسحوق أكسيد الإنديوم (In2O3) ومسحوق أكسيد القصدير (SnO2) المخلوطين وفقًا لنسبة معينة ، وعادة ما تكون نسبة الكتلة 90٪ 10٪ In2O3 و SnO2 ، مرة أخرى بعد معالجة الصب من خلال سلسلة من عمليات الإنتاج ، متكلس في 1400 ℃ ~ 1600 ℃ درجة حرارة الأكسجين ، التكوين النهائي لأشباه الموصلات السيراميك الرمادي الداكن ITO (أكسيد القصدير الإنديوم ،).

بشكل عام ، يمكننا معرفة جودة المواد المستهدفة في ITO من خلال المظهر. الرمادي الداكن هو الأفضل. على العكس من ذلك ، كلما كانت الجودة أغمق ، كلما كانت أسوأ.

من خلال البحث ، في عملية التفريق الغشائي لآلة طلاء الفراغ ، وباستخدام الاخرق المغنطروني ، يمكن للتحكم في درجة الحرارة القاعدية عند حوالي 200 ℃ أن يضمن أكثر من 85 ٪ من الغشاء الرقيق تحت نفاذية الضوء المرئي العالي ، ومعدل أدنى للمقاومة ، وبلورة الفيلم مع الزيادة درجة حرارة الركيزة ، يتم زيادة حجم الحبوب تدريجيا.

أكثر من 200 ℃ بعد معدل نقل تميل إلى أن تضعف. باستخدام تبخر شعاع الإلكترون ، جنبا إلى جنب مع درجة حرارة الصلب وحجم الحبوب والاستقرار سطح التضاريس موحدة ، وأكثر من 600 ℃ بعد أحجام الجسيمات والأشكال والجسيمات الصغيرة ظاهرة التكتل أمر خطير ، مورفولوجيا سطح الغشاء.