ترسيب الاخرق PVD
Oct 27, 2025| ترسيب الاخرق
المبدأ: في الغرفة المفرغة، يتم تأين الغاز الخامل (مثل Ar) بواسطة مجال كهربائي عالي الجهد- لتوليد البلازما. تقصف أيونات Ar⁺ الموجبة الشحنة، تحت تسارع المجال الكهربائي، سطح المادة المستهدفة. من خلال نقل الزخم، يتم "تناثر" ذرات المادة المستهدفة (في حالة غازية) ثم ترسيبها على سطح الركيزة لتكوين فيلم. المزايا الأساسية: التصاق قوي بين الفيلم والركيزة، وتوحيد عالي للتركيب (قريب من تكوين المادة المستهدفة)، ومجموعة واسعة من المواد القابلة للترسيب (المعادن، والسبائك، والسيراميك، والمركبات، وما إلى ذلك). التقنيات السائدة: الرش بالمغنطرون (الرش بالمغنطرون) هي تقنية الرش بالمغنطرون الأكثر استخدامًا على نطاق واسع في أشباه الموصلات. من خلال حصر مسار حركة الإلكترونات عبر مجال مغناطيسي، فإنه يطيل وقت الاصطدام بين الإلكترونات والغاز، ويزيد من كثافة البلازما، وبالتالي يعزز كفاءة الرش ومعدل ترسب الأغشية الرقيقة، مع تقليل ارتفاع درجة حرارة الركيزة. مناسبة للحرارة -ركائز أشباه الموصلات الحساسة (مثل رقائق السيليكون).
تقدم شركة IKS PVD آلات الطلاء الديكوري، وآلات طلاء الأدوات، وآلات الطلاء DLC، وآلات الطلاء البصري، وخطوط الطلاء الفراغي PVD، مع -مشاريع جاهزة جاهزة. اتصل بنا الآن، البريد الإلكتروني-: iks.pvd@foxmail.com