الضغط المنخفض ΠMFC Mass Flow Controller - PFC-20
يوفر جهاز التحكم في التدفق الجماعي PFC-20 ، الضغط المنخفض πMFC أقصى استخدام لغازات مصدر التسليم الآمن. تنفيذ زيادة الضغط المنخفض πMFC لأداة التشغيل عن طريق تقليل تواتر تغييرات أسطوانات الغاز المصدر. إنه يوفر التحكم الدقيق والدقيق في الغاز المنخفض ...
- مقدمة المنتج
المقدمة
يوفر جهاز التحكم في التدفق الجماعي PFC-20 ، الضغط المنخفض πMFC أقصى استخدام لغازات مصدر التسليم الآمن. تنفيذ زيادة الضغط المنخفض πMFC لأداة التشغيل عن طريق تقليل تواتر تغييرات أسطوانات الغاز المصدر. وهو يوفر تحكمًا دقيقًا ودقيقًا في تدفقات الغاز المنخفضة عبر نطاق ضغط واسع مع ضغط تسليم الغاز المصدر منخفضًا يصل إلى 4 Torr.
هذا πMFC هو الأحدث في منتجات MKS المصممة خصيصًا لغازات مصدر SDS و VAC ® التي تخدم صناعة زرع الأيونات. يوفر تصميم الصمامات والحساس الحاصل على براءة اختراع استقرارًا وثباتًا استثنائيًا لجميع ظروف التدفق مع الحفاظ على القدرة على تحقيق نقطة التحديد والتحكم في تدفق الغاز بشكل متكرر. وتتوافق أدوات الإدخال / الإخراج ذات الحجم القياسي من MFC والتحكم فيها مع خطوط الغاز الحالية لسهولة الدمج والتشغيل.
الميزات والفوائد
◆ يزيد من استخدام الغاز المصدر SDS الحد من التغييرات زجاجة مما أدى إلى ارتفاع الجهوزية أداة وانخفاض تكلفة الملكية
◆ يتحكم بشكل متكرر في تدفقات الغاز المنخفضة مما يسمح بتخفيض استهلاك الغاز باستخدام معلمات مُحسَّنة لتطبيقات مصدر الإنزعاج
lo توفر حلقة التحكم الرقمية استجابة سريعة للنقطة الزمنية المحددة لوقت دورة العملية
◆ زيادة وقت تشغيل الأداة من خلال تقليل "لا توجد مشكلة": استبدال MFC
- تضمين برامج التشخيص المضمنة والبرامج التي تسمح للمستخدمين بالتحقق من وظائف MFC دون إزالة MFC
يسمح التشخيص -E من خلال واجهة Ethernet المضمنة بمراقبة معلمات الأداء أثناء التشغيل
◆ الاستبدال المباشر لاستبدال النموذج لمعظم MFC الشائعة
◆ يقلل من تكاليف المخزون من خلال قدرة متعددة الغاز ، ومتعددة المدى
configuration التكوين والتشخيصات المباشرة من خلال واجهة Ethernet
- يستخدم متصفح الويب القياسي - لا يتطلب أي برنامج خاص
- يشمل تطبيق الكمبيوتر عن بعد
توفر شاشة العرض LED القابلة للدوران سهولة عرض معدل التدفق ، نوع الغاز ، نطاق التدفق الكامل ، درجة الحرارة وعنوان Ethernet
رسومات الأبعاد والألوان
تخصيص
| أداء | ||
| نطاق كامل (ن 2 مكافئ) | 2 - 20 مليون متر مكعب | |
| نطاق ضغط مدخل | 4 - 1200 عربة (مع فراغ عند مخرج) | |
| ضغط التشغيل العادي التفاضلي (مكافئ 2 N) | <10 عائد="" عند="" تدفق="" fs="" (مع="" وجود="" تفريغ="" في=""> | |
| أقصى ضغط التطهير | 150 رطل لكل بوصة مربعة | |
| انفجر الضغط | 1500 رطل لكل بوصة مربعة | |
| نطاق السيطرة | 2 إلى 100 ٪ من FS | |
| دقة نموذجية | ± 1٪ من نقطة التحديد لـ> 10 إلى 100٪ FS و ± 0.2٪ من الخدمة الثابتة من 2 إلى 10٪ من الخدمة الثابتة عند ضغط مدخل> 20 Torr | |
| التكرار | 0.2 ٪ من FS | |
| القرار | 0.1 ٪ من القراءة | |
درجة الحرارة معاملات | صفر | ± 0.08٪ من الخدمة الثابتة / درجة مئوية |
| امتداد | ± 0.08٪ من Rdg / ° C | |
وقت تسوية المراقب (لكل نصف توجيهي E17-0600) | <2> نموذجي فوق 10٪ من FS عند ضغوط الدخول> 10 Torr | |
الاحماء الوقت (في حدود 0.2٪ من الخدمة الثابتة لأداء الدولة الثابت ) | <30> | |
| درجة حرارة التشغيل العادية | من 10 إلى 50 درجة مئوية | |
| رطوبة التخزين | 0 إلى 95 ٪ الرطوبة النسبية ، دون تكاثف | |
| درجة حرارة التخزين | من 20 إلى 65 درجة مئوية | |
| عرض درجة الحرارة | من 0 إلى 100 درجة مئوية | |
| وحدات قراءة درجة الحرارة | ° C | |
| دقة درجة الحرارة | ± 2 ° C | |
| درجة الحرارة القرار | 0.1 ° C | |
| ميكانيكي | ||
| تركيبات | Swagelok ® 4 VCR ® | |
| عرض | 4 أرقام للقيمة ، 4 أحرف للوحدة | |
| تسرب النزاهة | خارجي (scc / sec He) | <1x10> |
| من خلال صمام مغلق | <1.0 ٪="" من="" fs="" في="" 25="" رطل="" لكل="" بوصة="" مربعة="" في="" الغلاف=""> | |
المواد المبللة اساسي | 316 SS VAR (أي ما يعادل 316 SS SCQ لجودة أشباه الموصلات) ، 316 SS، Elgiloy، KM-45، NiTi | |
| صقل الأسطح | 5 متوسط microinch رع | |
| وزن | أقل من 2 رطل. (0.9 كجم) | |
| الكهرباء | ||
| موصلات | التناظرية (الطاقة & I / O) | 9 دبوس D ذكر أو 15 دبوس D ذكر |
| التشخيص | إيثرنت | |
| مساهمة الجهد | 15-24 VDC ± 5٪ VDC @ 350mA الذروة ، 250 mA حالة ثابتة | |
| تعيين إشارة نقطة نقطة | 0 إلى 5 VDC | |
| إشارة الخرج | 0 إلى 5 VDC | |
الوسم : الضغط المنخفض πmfc mass flow controller - pfc-20، الصين، الشركات المصنعة، الموردين، شراء، حسب الطلب، المحرز في الصين
