مقدمة موجزة التحيز

التحيز السلبي

توفير الطاقة الجسيمات؛

أثر تدفئة على الركازة؛

إزالة الغاز والنفط تمتز على الركازة يمكن تحسين قوة الترابط طبقة الفيلم.

سطح مصفوفة المنشط؛

تصفيح أيون القوس (Arc أيون تصفيح) الجسيمات الكبيرة لها تأثير التنقية؛

تصنيف للتحيز

وفقا لنموذج مطابق، يمكن تقسيمها إلى:

التحيز dc

تحيز نبض العاصمة

العاصمة المكدس نبض التحيز

تحيز نبض الاستقطاب الثنائي

تبديل الجهد عالية الجهد المنخفض عند استخدام الطاقة

العديد من إمدادات الطاقة متحيزة بحاجة للتبديل بين ارتفاع وانخفاض الجهد في العمل ويستخدم معدات الضغط العالي للقصف والتنظيف، ويستخدم الضغط المنخفض والعتاد لإيداع الفيلم. ويرد أدناه وصف التخطيط تنسيق الإخراج لهذين النوعين من إمدادات الطاقة:

رسم تخطيطي لإخراج الطاقة عالية الجهد (HV) والجهد المنخفض (LV) يحتاج إلى تبديل

لا حاجة لتبديل عالية-منخفضة والعتاد التكيف المستمر ستبليس الإخراج

معلمة قابل للتعديل من التحيز للتيار الكهربائي

السعة التحيز

نسبة الرسوم

التردد

الموجي

الخصائص الهامة لإمدادات الطاقة التحيز

عدد طفايات الانحناء في الدقيقة الواحدة (بوحدات إطفاء الانحناء للدقيقة الواحدة)

حساسية للكشف عن قوس كبير (mJ/كيلوواط يمكن كشفها قوس الطاقة)

تحميل الخصائص للتحيز

عبء العمل من التحيز هو البلازما. عندما يتم استخدام التحيز dc، يظهر البلازما المقاومة. عندما يتم تطبيق التحيز النبض، يسلك البلازما المقاومة + القدرات، التي يمكن أن تعتبر سلسلة اتصال للمقاومة والسعة. بسبب طبيعة توليد القدرة غمد البلازما على سطح الركازة.

مقارنة التحيز dc والتحيز نبض

التكسية بالأيونات القوس التقليدية هو التحكم في الطاقة قصف أيون بتطبيق التحيز dc السلبي على الركازة. عملية ترسب هذا له العيوب التالية:

درجة حرارة عالية للمصفوفة لا يؤدي إلى ترسب الفيلم الثابت على الركازة مع انخفاض درجة الحرارة تخفيف.

بسهولة أن القصف أيون الجسيمات ذات الطاقة العالية لا يمكن توليف الأفلام عتبة عالية المتفاعلة بزيادة الطاقة قصف أيون.

أيون قوس التحيز dc تصفيح العملية، منعا لقصف مستمر بايون من على سطح الركازة الناجمة عن درجة حرارة الركازة باهظة، أساسا الحد من قوة الرسوبية، وتقصير الوقت، ويستخدم طريقة الترسيب في فترات متقطعة خفض درجة حرارة الترسيب، وهذه التدابير يمكن التحكم في الطاقة عموما يسمى ' على الرغم من أن هذه الطريقة يمكن خفض درجة حرارة الترسيب، ولكن أيضا جعل بعض أداء الفيلم، ولكن أيضا يقلل من كفاءة الإنتاج والاستقرار للفيلم الجودة، ولذلك، من الصعب تعميم وتطبيق.

أيون نابض القوس التحيز تصفيح العملية، بسبب سطح الركازة القصف أيون طريقة نبض متقطع، حتى عن طريق ضبط نسبة واجب نبض التحيز، يمكن تغيير المصفوفة بين التدرج درجة الحرارة السطحية والداخلية، ثم قم بتغيير المصفوفة بين الداخلية والسطحية الساخنة مكابس تعويض تأثير، تحقيق الغرض من تنظيم درجة حرارة الترسيب. وبهذه الطريقة، يمكن ضبط ارتفاع نبض متحيزة بشكل منفصل من درجة حرارة الشغل (مع تأثير ضئيل أو لا على بعضها البعض)، ويمكن الحصول على أثر القصف أيون الجسيمات ذات الطاقة العالية بذبذبة عالية الضغط لتحسين هيكل وأداء ويمكن تخفيض الفيلم، ومجموع التدفئة تأثير القصف أيون بتخفيض نسبة الرسوم لتقليل درجة حرارة الترسيب.

أثر التحيز في طبقة الغشاء

آثار التحيز في الغشاء طبقة إليه معقدة للغاية، والعديد من الشركات والمؤسسات البحثية وقد فعلت الكثير للبحوث، من طبقة الغشاء مختلفة ومعدات مختلفة، تؤثر على الطريقة والنتائج تختلف تماما، ما يلي قائمة بعض الآثار الرئيسية، يمكن استخدامها وفقا لعمليتها، المراقبة، يمكن أن تفهم بسرعة آثار التحيز في طبقة الغشاء.

غشاء هيكل وبنية بلورية التوجه وهيكل الأنسجة

معدل الترسيب

الجسيمات الكبيرة التنظيف

صلابة الفيلم

كثافة الفيلم

مورفولوجيا سطح

الضغط الداخلي

الترسيب الفيزيائي للبخار IKS مخصصة آلة طلاء الفراغ الترسيب الفيزيائي للبخار المناسبة لك، اتصل بنا الآن، iks.pvd@foxmail.com