تأثير السلطة الاخرق على معدل الترسيب من أفلام رقيقة ZAO

الشكل 3 هو عبارة عن قطعة من الطاقة الاخرق مقابل معدل ترسيب الفيلم. المعلمات العملية هي: ضغط التفاعل هو 0.7 باسكال ، ونسبة تدفق O2 و Ar هي 3/20 ، ودرجة حرارة الترسيب هي 200 درجة مئوية. من الشكل 3 ، من المعروف أن معدل الترسيب للسينما الرقيقة ZAO يكاد يزداد خطياً مع زيادة قوة الاخرق. لأنه في عملية طلاء الرذاذ ، يكون معدل الترسب (R) متناسبًا مع ناتج كثافة تدفق أيون الحادث (J) ومعدل التبخر (Y) ، أي:

R = CYJ

C هو ثابت لخصائص جهاز الاخرق. وفقا للصيغة أعلاه ، عندما تزداد قوة الاخرق ، يزداد تيار الاخرق والجهد بشكل متزامن ، بحيث تزيد كثافة تيار ايون الحالية (J) وطاقة ايون الحادث (E) ، والعلاقة بين طاقة ايون الحادث (E) ) ويظهر العائد التالف خلال هذه الفترة زيادة خطية تقريبية ، كما يزداد معدل ترسيب الفيلم تقريبًا.

على المنحنى من الشكل 3 ، يتم اختيار نقطتين من 120W و 170 W ورسمت بالشكل 3.1 ، معلمات العملية الأخرى متناسقة. ويمكن ملاحظة أنه كلما زادت القوة ، يتحرك منحنى معدل الترسب ككل إلى أعلى اليمين ويحافظ على تشابه الشكل ، مما يعني أنه لا يمكن إلا أن يزيد معدل الترسيب من تقليل تأثير ظاهرة التسمم المستهدف.

الشكل 3. العلاقة بين السلطة الاخرق ومعدل الترسب

الشكل 3.1 العلاقة بين معدل تدفق O2 ومعدل الترسب تحت قوة الاخرق المختلفة