ميزات لقياس الفراغ

1-قياس واسعة النطاق الضغط: 10⁵10^-14السلطة الفلسطينية.

2-معظم فراغ مقاييس إجراء قياسات غير مباشرة.عندما يتم الضغط 10⁵10 يمكن أن يقاس مباشرة في السلطة الفلسطينية، والقوة في وحدة المساحة. ومع ذلك، الأكثر فراغ الضغوط ضرورة قياس هي أصغر من تلك التي وصفت أعلاه ولا يمكن قياسها مباشرة. القياسات غير المباشرة ينبغي استخدام بعض الخصائص (مثل التوصيل الحرارة واللزوجة والتاين) للغازات عند ضغط منخفض.

3-وقد اعتمد تكنولوجيا قياس كمية عدم الكهرباء معظمها.نظراً لتكنولوجيا قياس كمية الكهرباء غير مزايا عالية الحساسية والاستجابة السريعة، والقياس التلقائي والمسافات الطويلة، إلخ، معظم فراغ مقاييس استخدام هذا الأسلوب. قياس الفراغ الإلكترونية يتكون من جزأين، ومراقبة قياس الفراغ ودارة القياس الإلكترونية (وحدة التحكم وإشارة). قياس عنصر حساس. فإنه يستخدم خصائص معينة من الغاز تحت ضغط منخفض لتحويل ضغط الغاز غير الكهربائية إلى إشارة كهربائية. دارة قياس تضخيم ثم يعرض الإخراج الإشارة الكهربائية. عند الضرورة، سيتم إرسال إشارة الإخراج إلى مسجل التلقائية ومعدات التحكم الآلي تحقيق التشغيل الآلي للمعدات فراغ. الشروط المطلوبة لتنظيم تحويل الضغط غير الكهربائية إلى الكهرباء التي تقدمها وحدة التحكم لقياس الدائرة.

4-القراءة لقياس التفريغ الجزئي مرتبط بنوع وتركيب الغاز.ولذلك، يجب إيلاء اهتمام خاص لنوع وتركيب الغاز أثناء القياس، وإلا فإنه سوف يؤدي إلى خطأ كبير.

5-دقة القياس ليست عالية.القياس غير المباشر للضغط غالباً ما يتطلب طاقة إضافية للمساعدة. قد تكون الطاقة المضافة الطاقة الحرارية والطاقة الكهربائية والطاقة الميكانيكية والطاقة المشعة. بهذه الطريقة، يتم عرض أخطاء القياس حتما في الوقت نفسه كإدخال الطاقة الإضافية. ومن ثم، مقاييس الفراغ أقل دقة من مقاييس مادية أخرى. على سبيل المثال، في حالة عدم التيقن قياس الفراغ متر والصك القياسية المرجعية هو (2 ~ 10) × 10-²، خطأ القياس الصك العامل داخل ±20 × 10^-2.