فيديو يحذف مبدأ عمل المضخة الجزيئية

فيديو يحذف مبدأ عمل المضخة الجزيئية

https://v.qq.com/x/page/q1346vypd11.html

كيف تعمل المضخات الجزيئية؟

مبدأ العمل:

تختلف آلية المضخة للمضخة الجزيئية عن المضخة الميكانيكية ، والتي تعتمد على تغيير حجم غرفة المضخة لاستخراج الهواء.

يتم تشغيل المضخة الجزيئية بواسطة المحرك للتدوير بسرعة عالية. في منطقة التدفق الجزيئي ، تصطدم جزيئات الغاز بسطح النصل عالي السرعة ، ويتم نقل الزخم إلى جزيئات الغاز ، بحيث تتحرك بعض جزيئات الغاز في اتجاه سطح الجسم الصلب ويتم طردها من المضخة ، لتحقيق الغرض من استخراج الهواء. عادة مع الحركة عالية السرعة لسطح الجسم الصلب لحمل جزيئات الغاز ، وجعله يتحرك في اتجاه معين للظاهرة المعروفة باسم ظاهرة الجر الجزيئي ، باستخدام هذه الظاهرة المصنوعة من مضخة الفراغ المعروفة باسم المضخة الجزيئية الجر (مضخة gad). ميزة المضخة الجزيئية الجر هي أن وقت البدء قصير ، في حالة التدفق الجزيئي لديها نسبة ضغط عالية ، يمكن إزالة جميع أنواع الغازات والأبخرة ، خاصة مناسبة لاستخراج الغازات الثقيلة. ومع ذلك ، نظرًا لأن سرعة ضخ المضخة الجزيئية صغيرة ، فإن فجوة الختم صغيرة جدًا ، وموثوقية العمل رديئة ، وسهل العطل الميكانيكي ، وصعوبات التصنيع ، نادرًا ما تستخدم. في وقت لاحق ، تم تحسين المضخة الجزيئية الجر وظهرت المضخة الجزيئية التوربينية.

تحتوي المضخة التوربينية الجزيئية على مجموعات متعددة من شفرات الدوار المتناوبة وشفرات الدوار الثابتة ، وهناك العديد من الشفرات المائلة في زاوية معينة على كل شفرة ، كما هو موضح في FIG. 1. تتكون المضخة الجزيئية التوربينية الفعلية من سلسلة متعددة المراحل ، وهي: شفرة التشغيل ، الشفرة الثابتة و الشفرة المتحركة مرتبة بالتناوب. تعمل الشفرات المتحركة مثل شفرات المروحة الكهربائية عند تدويرها ، مما يضخ الغاز من جانب إلى آخر. زيادة سرعة المضخة الجزيئية مفيد في تحسين سرعة الضخ للمضخة الجزيئية. بسبب الحد الأقصى لسرعة النصل ، إذا تحركت جزيئات الغاز بشكل أسرع ، فمن الصعب ضخ الفراغ.

يمكن أن نرى أن المضخة الجزيئية التوربينية هي أيضًا نوع من المضخة الفراغية الميكانيكية. يتم استخدام مزيج من شفرات دوارة التوربينات الدوارة متعددة المراحل عالية السرعة والشفرات الثابتة لاستخراج الهواء ، والذي ينتج نسبة ضغط عالية للغاز المستخرج في منطقة التدفق الجزيئي ، وذلك للحصول على أداء الفراغ المطلوب. الفراغ النهائي للمضخة التوربينية الجزيئية أعلى من مضخة الانتشار ، حتى 10 ^ -8pa. في التشغيل العادي ، يلزم وجود درجة فراغ معينة من المرحلة الأمامية ، والتي تختلف قليلاً اعتمادًا على المضخة ، والتي تتراوح عمومًا من 1 إلى 200Pa. يمكن استخدام المضخة الميكانيكية كمضخة المرحلة الأمامية. تتكون الوحدة ذات الفراغ العالي من مضخة جزيئية ومضخة ميكانيكية. نظرًا للسرعة العالية للمضخة الجزيئية التوربينية ، عادة ما يتم تشغيلها بواسطة محرك إذا ، وتردد إمداد الطاقة ما بين 300-400 هرتز. المضخات الجزيئية التوربينية عادة ما تكون مبردة بالماء.

المضخة الجزيئية المركبة هي عبارة عن مزيج من المضخة الجزيئية التوربينية والمضخة الجزيئية الجر ، والتي تجمع بين مزايا النوعين من المضخات في واحدة ، ويمكن أن تكون في نطاق ضغط عريض 10 ^ -6-1pa ، مع سرعة ضخ أكبر ونسبة ضغط أعلى ، مما يحسن إلى حد كبير من ضغط مخرج المضخة.

  ظروف التشغيل :

(1) تصل سرعة الدوار إلى 20000r / min ، وبالتالي فإن وقت بدء المضخة الجزيئية طويل نسبيًا.
(2) الغاز في حالة التدفق الجزيئي ، لذلك يجب أن يتم تجهيزه بمضخة المرحلة الأمامية. بشكل عام ، يتم استخدام مضخة دوارة دوارة كمضخة المرحلة الأمامية

ميزات مضخة الجزيئية:

المضخة الجزيئية لتزييت الزيت: كمية زيت التشحيم صغيرة ، وفي قسم الفراغ في المرحلة السابقة ، يكون تلوث غرفة الفراغ صغيرًا.
المضخة الجزيئية لتزييت الشحوم: كمية الشحوم صغيرة جدًا ، يمكن للمضخة الجافة قبل المرحلة الحصول على فراغ نظيف بدون زيت.
المضخة الجزيئية ذات التعليق المغنطيسي الكامل: لا حاجة للتشحيم ، يمكن استخدامها مع المضخة الجافة ، بيئة الفراغ النظيفة بدون زيت.

التطبيقات الشائعة الأخرى:

1. التحليل (مطياف الكتلة ، المجهر الإلكتروني ، إلخ)
2. أشباه الموصلات (المكونات الإلكترونية ، الدوائر المتكاملة ، الخلايا الشمسية المرنة ، إلخ.)
3. البصريات / الزجاج (الحماية الحرارية ، المضادة للانعكاس ، انعكاس ، مرشح بصري)
4. طلاء (حماية السطح ، الطلاء الزخرفية ، العرض ، الشاشة)
5. فراغ المعادن (فراغ فرن ، فراغ مختلط ، فراغ تلبد ، سبائك فراغ ،)
6. كشف تسرب (نظام فراغ ، خزان الوقود مركبة ، وسادة هوائية)
7. التجارب البحثية (التصوير بالرنين المغناطيسي الطبي ، فيزياء الجسيمات النووية ، أبحاث الاندماج ، تطبيقات الليزر وأكثر من ذلك بكثير)
8. صناعة إنتاج المصباح والصناعات ذات الصلة

تستخدم IKS PVD ، آلة الطلاء المضخة الجزيئية للتوربينات المغناطيسية. اتصل بنا الآن ، للحصول على مزيد من التفاصيل حول آلة طلاء الفراغ PVD ، iks.pvd @ foxmail.com