سمة من سمات إيداع طلاء النانو بواسطة تقنية PVD
Mar 23, 2018| هناك ثلاث طرق أساسية لترسب الطلاء النانوي بواسطة PVD: التبخر الفراغي ، التفريغ الفراغي ، وطلاء الفراغ الأيوني. يشير التبخر الفراغي إلى استخدام تسخين الحزمة الإلكترونية وتسخين الليزر وطرق أخرى لجعل مادة مصدر التبخير تتبخر إلى جزيئات (ذرات أو أيونات) ثم توضع على السطح كطلاء. الطلاء يحتوي على أكثر من المسام نسبيا ، والالتصاق الركيزة ليست جيدة جدا. يستخدم الطلاء الأخرق الشغل مثل الأنود والهدف كالكاثود. يتم استخدام أيونات الأرجون الناتجة عن تأين الأرجون لإفساد الذرات المستهدفة ثم توضعها على سطح قطعة الشغل. الطلاء يحتوي على عدد أقل من المسام وتحسين الالتصاق بالركيزة. ويعني طلاء الأيونات استخدام طرق التبخير أو الرذاذ أو المواد الكيميائية لجعل المواد تتحول إلى ذرات وتتأين بالبلازما حول الركيزة. ثم ، هذه الذرات المتأينة طارت إلى الركيزة مع طاقة حركية أكبر في إطار عمل الحقل الكهربائي لتشكيل طلاء. هذا الطلاء هو موحد وكثيف مع التصاق جيد ، أساسا غير مسامية.
نجح Gutarra في صنع أفلام نانو أكسيد التيتانيوم باستخدام تقنية الرش المغنطروني DC. تم إخلاء الضغط في غرفة الركام إلى 1.3 × 10-4 باسكال ، ثم بعد شحن Ar ، O2 و CF4 ، كان الضغط الكلي 1.3 با (التحكم في حجم الحقن أثناء التصفيح). تم التحكم بسماكة الغشاء عن طريق تغيير ظروف الرشاش عند جهد تبخير ثابت (700 V) ، تم التحكم بدرجة حرارة الركيزة عند 100 ~ 400 درجة مئوية خلال عملية التبخير. ومع ذلك ، يتأثر سطح الطلاء بالغاز والجسيمات المشحونة ، ويتأثر أداء الطلاء بشكل كبير بحالة البلازما. إلى جانب ذلك ، لا يتم التحكم في ظروف الرشاش بسهولة ، وهو أكبر نقطة ضعف في هذه الطريقة.
من أجل زيادة تحسين جودة الطلاء النانوي ، تم الجمع بين العديد من تقنيات PVD المتقدمة لتطوير واشتقاق العديد من تقنيات PVD المتقدمة. يتم إدخال المجال المغناطيسي في تقنية الاخرق التي تستخدم بشكل رئيسي المجال الكهربائي ، ومن ثم تم تطوير تقنيات الاشتعال المغنطروني المختلفة. من أجل تحسين العمليات الكيميائية في تشكيل الأغشية الرقيقة ، يتم إدخال غازات التفاعل النشط في عملية طلاء التبخر ، الرش ، والطلاء الأيوني لتشكيل تقنيات تبخير تفاعل نشط ، تقنيات إخماد تفاعلات نشطة ، وتقنيات تصفيح تفاعل الأيونات النشطة. بالإضافة إلى ذلك ، هناك المزيد من تقنيات الطلاء الجديدة مثل ترسيب الليزر النبضي (PLD) ، الرنين المغناطيسي النبضي المغنطروني (MSPLD) ، و الرش المغنطروني المتأين ، epitaxy beam epitaxy (MBE) وهكذا.
ويلاحظ أنه مع تطور العلم والتكنولوجيا ، أصبحت الحدود بين الأمراض القلبية الوعائية والـ PVD أكثر وضوحًا وأكثر فأكثر ، وتخترق بعضها البعض ، وبالتالي ستكون تكنولوجيتا الطلاء هاتين أكثر مثالية.