خصائص وتصنيف وحدات فراغ عالية جدا

C haracteristics وتصنيف وحدات فائقة عالية الفراغ

IKS PVD ， PVD آلة طلاء الفراغ تصنيع ， الاتصال معنا الآن ， iks.pvd @ foxmail.com ， للحصول على مزيد من التفاصيل حول آلة طلاء.

إن وحدات التفريغ فائقة العزم التي تعمل في أكثر من 10 ^-5 باسكال لديها مضخة نشر ، مضخة جزيئية وحدات تفريغ عالية جداً ووحدات تفريغ عالية جداً خالية من الزيت. الوحدات لديها الخصائص التالية:

1. أعلى درجة فراغ النهائي من المضخة الرئيسية ، ^10-7 ~ 10 ^-8 سنويا أعلاه ؛

2. يمكن أن تحمل درجة حرارة عالية من 200 ~ 450 ℃ الخبز .

3. الضغط الجزئي لغاز التدفق العكسي في المضخة الرئيسية منخفض جدا.

4. بالنسبة لانتقائية ضخ الغاز من المضخة الرئيسية ، لتكون مجهزة بمضخة مساعدة كبيرة بما فيه الكفاية ؛

5. متطلبات غرفة التفريغ ، الأنابيب ، الصمامات وغيرها من مكونات معدل إخراج المواد منخفضة جداً ، ومعدل التسرب صغير جداً.

(1) وحدة نشر مضخة فراغ عالية جدا

مضخة الانتشار كمضخة ذات أولوية في وحدة التفريغ النهائية ، درجة التفريغ العالية جدا هي 10-7 ~ 10-8 سنوياً.

للحد من نشر مضخة قبل مستوى انتشار الغاز وكتلة تأثير ضخ النفط مضخة ميكانيكية تأثير على فراغ في نهاية المطاف ، ولكن أمام مستوى ضخ انتشار اكتب سرعة ضخ صغيرة لمضخة نشر ، من أجل الحد من نسبة الضغط ، والحد من الانتشار كما هو الحال في مدخل مضخة الانتشار ، فإن إضافة تسامي التيتانيوم أعلى من ذلك يمكن أن يقلل من الضغط الجزئي للنيتروجين من مضخة الانتشار ، يمكن أن يحصل على 10 إلى 11 pa فراغ عالي جدا .

(2) مضخة الجزيئية فائقة وحدة فراغ عالية

وحدة التفريغ عالية جدا مع مضخة جزيئية كما المضخة الرئيسية لديها أقصى درجة فراغ من 10-8pa ، والتي تتميز بسرعة البدء والتلوث بالزيت الصغيرة. بالإضافة إلى ذلك ، يمكن إضافة بئر النيتروجين السائل البارد إلى الوحدة لزيادة سرعة الضخ. يمكن وضع بئر ماء بارد في مخرج المضخة الميكانيكية لمنع دخول بخار الزيت إلى النظام .

(3) وحدة فراغ عالية جدا خالية من الزيت

وتعرف الوحدات الفراغية التي لا تستخدم الزيت كمائع عمل وغير مختومة بالمواد العضوية بالمضخات الرئيسية المستخدمة عادة في وحدات التفريغ عالية جدا الخالية من الزيت ، مثل المضخات المبردة ، ومضخات التيتانيوم ، ومضخات الايون الاخرق ، الخ. التي يمكن الحصول على أقصى درجة فراغ من ^10-7 ~ 10 ^-8 سنويا. بالمقارنة مع وحدات الفراغ المحتوية على الزيت ، فإن لديها المزايا التالية:

1) يمكن الحصول على فراغ نظيف بدون مصادر التلوث.

2) عند بدء تشغيل مضخة الفراغ الخالية من الزيت ، يمكن عزل مضخة ما قبل الضخ ؛

3) إذا توقف الضخ فجأة ، لن يكون النظام ملوثًا ؛

4) لا النفط ، لا الاهتزاز ، تحسين بيئة العمل ؛

5) ارتفاع الحد من فراغ ، وارتفاع سرعة الضخ ، وقصيرة الوقت الضخ.