مقارنة بين انحياز التيار المستمر وانحياز النبض

مقارنة بين انحياز التيار المستمر وانحياز النبض

الطلاء الأيوني التقليدي هو تطبيق التحيز السلبي للتيار المستمر على الركيزة للتحكم في طاقة القصف الأيوني. عملية الترسيب هذه لها العيوب التالية: 1. درجة الحرارة المرتفعة للركيزة لا تساعد على ترسيب طبقة صلبة على الركيزة مع درجة حرارة منخفضة. 2. 3. يسبب القصف الأيوني عالي الطاقة تناثرًا خطيرًا، ولا يمكن تصنيع الأفلام الصلبة ذات طاقة عتبة التفاعل العالية ببساطة عن طريق زيادة طاقة القصف الأيوني. 4. في عملية طلاء الأيون القوسي المتحيز DC، لكبح درجة حرارة الركيزة المفرطة الناتجة عن القصف المستمر للأيونات الموجبة على سطح الركيزة، يتم اعتماد تدابير مثل تقليل قوة الترسيب، وتقصير وقت الترسيب واعتماد طرق الترسيب المتقطعة بشكل أساسي لتقليل درجة حرارة الترسيب. ويمكن تلخيص هذه التدابير بطرق التحكم في الطاقة. على الرغم من أن هذه الطريقة يمكن أن تقلل من درجة حرارة الترسيب، إلا أنها تقلل أيضًا من بعض خصائص الفيلم وتقلل أيضًا من كفاءة الإنتاج واستقرار جودة الفيلم، لذلك من الصعب الترويج للتطبيق. في عملية طلاء القوس المتحيز النبضي، نظرًا لأن الأيونات يتم قصفها بواسطة سطح الركيزة في وضع النبض غير المستمر، يمكن تغيير التدرج في درجة الحرارة بين الركيزة والسطح عن طريق ضبط دورة العمل لانحياز النبض، ومن ثم يمكن تغيير تأثير تعويض معادلة الحرارة بين الركيزة والسطح لتحقيق الغرض من تنظيم درجة حرارة الترسيب. بهذه الطريقة، يمكن فصل ارتفاع النبض المتحيز بشكل مستقل عن درجة حرارة قطعة العمل (لا تؤثر على بعضها البعض أو يكون لها تأثير ضئيل)، ويمكن استخدام نبض الجهد العالي للحصول على تأثير القصف للأيونات عالية الطاقة لتحسين تنظيم وأداء الفيلم، ويمكن تقليل تأثير التسخين الكلي للقصف الأيوني عن طريق تقليل دورة العمل لتقليل درجة حرارة الترسيب.

شركة IKS PVD، آلة طلاء الديكور، آلة طلاء الأدوات، آلة طلاء DLC، آلة الطلاء البصري، خط طلاء الفراغ PVD، المشروع الجاهز متاح. تواصل معنا الآن، البريد الإلكتروني: iks.pvd@foxmail.com