تأثير معلمات عملية الرش بالمغنيترون - معدل التدفق N2

تأثير معلمات عملية الرش المغنطروني - معدل التدفق N2

يمكن تعديل التركيب الكيميائي والبنية المجهرية والخصائص المختلفة للطلاء الرباعي (Cr، Ti، Al) N عن طريق تغيير معدل تدفق N2. وجد الباحثون أنه مع زيادة تدفق N2، فإن محتوى N ومحتوى الطور الصلب من النتريد لطلاء (Cr,Ti,Al) N سيزداد أيضًا، كما ستزداد الصلابة ومعامل المرونة وقدرة التحمل وقوة ربط قاعدة الفيلم للطبقة الصلبة. سيتم أيضًا زيادة الطلاء وفقًا لذلك، مما يمكن أن يقلل بشكل فعال من خشونة السطح وعامل الاحتكاك ومعدل تآكل الطلاء. تحسين مقاومة التآكل للطلاء بشكل ملحوظ [57-58]. ومع ذلك، مع زيادة تدفق N2، يزداد ضغط الاخرق، وينخفض ​​متوسط ​​المسار الحر للأيونات، ويزيد فقدان الطاقة للأيونات، مما سيؤثر على جودة التبلور وهيكل تكوين الفيلم للطلاء، مما يؤدي إلى انخفاض صلابة الطلاء [59]. ووجد الباحثون أيضًا أنه مع زيادة تدفق N2، أظهر معدل ترسب الطلاءات الرباعية (Cr,Ti,Al) N اتجاهًا للزيادة أولاً ثم التناقص [60]. وذلك لأن زيادة معدل تدفق N2 سيزيد من درجة تفاعل الجسيمات المستهدفة مع N2، وبالتالي زيادة معدل ترسيب الطلاء. ومع ذلك، فإن زيادة معدل تدفق N2 ستؤدي أيضًا إلى زيادة ضغط الاخرق، وسيزداد تأثير تشتت شعاع الجسيمات (بما في ذلك جزيئات الاخرق التي تقصف الهدف والجسيمات المترسبة على سطح تشكيل الفيلم)، مما يؤدي إلى انخفاض في عدد تصل الجزيئات المترسبة إلى سطح الركيزة لكل وحدة زمنية، وبالتالي فإن معدل ترسب الطلاء سيظهر أيضًا اتجاهًا هبوطيًا. بالإضافة إلى ذلك، سيؤدي الضغط الجزئي المرتفع جدًا لـ N2 إلى تكوين المزيد من مراحل النتريد على سطح الهدف، مما سيزيد من درجة تسمم الهدف، مما سيؤثر أيضًا على معدل ترسيب الطلاء.

شركة IKS PVD، آلة طلاء الديكور، آلة طلاء الأدوات، آلة طلاء DLC، آلة الطلاء البصري، خط طلاء الفراغ PVD، المشروع الجاهز متاح. تواصل معنا الآن، البريد الإلكتروني: iks.pvd@foxmail.com