نطاق القياس لمقياس فراغ التأين بالكاثود الساخن

على الرغم من أن نطاق القياس لمقياس فراغ التأين بالكاثود الساخن يمكن أن يصل إلى 10-2~10-11 مللي بار، إلا أنه عندما يكون الضغط مرتفعًا جدًا، فإن العلاقة بين تدفق الجسيمات والضغط سوف تنحرف عن الخطية وتميل إلى التشبع. من أجل توسيع نطاق القياس، عادة ما يتم استخدام مقياس الفراغ بيراني عند نقطة بداية المضخة (في حالة الضغط الزائد).

بالإضافة إلى ذلك، يبلغ الحد الأدنى لقياس أجهزة قياس فراغ التأين الكاثود الساخن العادية حوالي 10-6Pa من حيث الحجم: عندما يتم قصف أنود البوابة بالإلكترونات، يتم إنشاء أشعة سينية ناعمة، ويحدث انبعاث إلكترون ضوئي عندما يتم قصف الأيون جامع يتلقى هذا الشعاع. نظرًا لأن الفوتون المنبعث من المجمع يعادل الأيونات التي يجمعها، يتم تشكيل تيار ضوئي خلفي مستقل عن الضغط في دائرة مجمع الأيونات، والذي يتم تمثيله بقراءة ضغط تبلغ حوالي 10-6Pa عند القياس. من أجل القضاء على تأثير التيار الكهروضوئي الخلفي وتوسيع حد القياس لمقياس فراغ التأين بالكاثود الساخن، مقياس فراغ التأين BA (يمكن أن يصل حد القياس إلى 10-8Pa)، مقياس الفراغ القمعي (يمكن أن يصل نظريًا إلى {{6} }Pa)، ومقياس الفراغ المعدل (10-10Pa)، ومقياس الفراغ المنفصل (10-11Pa)، وما إلى ذلك.

شركة IKS PVD، آلة طلاء الديكور، آلة طلاء الأدوات، آلة طلاء DLC، آلة الطلاء البصري، خط طلاء الفراغ PVD، المشروع الجاهز متاح. تواصل معنا الآن، البريد الإلكتروني: iks.pvd@foxmail.com