ضغط الهواء PECVD
Jul 09, 2023| عندما تتشكل البلازما ، يكون ضغط الغاز كبيرًا جدًا ، ويزداد غاز التفاعل في الوحدة ، وبالتالي يزداد المعدل ، ولكن في نفس الوقت ، يكون ضغط الهواء مرتفعًا جدًا ، وينخفض متوسط المسار الحر ، وهو ما لا يؤدي إلى تغطية فيلم الترسيب على الخطوة. سيؤثر ضغط الهواء المنخفض جدًا على آلية ترسيب الفيلم ، مما يؤدي إلى انخفاض كثافة الفيلم وسهولة تكوين عيب في الإبرة. عندما يكون ضغط الهواء مرتفعًا جدًا ، من الواضح أن تفاعل البلمرة للبلازما يتحسن ، مما يؤدي إلى انخفاض انتظام شبكة النمو وزيادة العيوب.
شركة IKS PVD ، آلة طلاء الديكور ، آلة طلاء الأدوات ، آلة طلاء DLC ، آلة الطلاء البصري ، خط طلاء الفراغ PVD ، المشروع الجاهز متاح. اتصل بنا الآن ، E-mail: iks.pvd@foxmail.com
←
زوج من: طاقة تردد الراديو PECVD
في المادة التالية : تردد تشغيل PECVD لمصدر طاقة التردد اللاسلكي
→
إرسال التحقيق