المشاكل الشائعة في معدات PECVD وتدابير العلاج - عدم التوهج
Jul 01, 2023| أسباب وطرق علاج عدم التوهج:
(1) إذا كان مصدر طاقة التردد اللاسلكي معيبًا ، فتحقق مما إذا كان خرج الطاقة لمصدر التردد اللاسلكي طبيعيًا.
(2) حجم مدخل غاز التفاعل صغير ، تحقق مما إذا كان مقياس تدفق الغاز طبيعيًا ، إذا كان طبيعيًا ، قم بزيادة حجم المدخول للاختبار.
(3) نظافة لوحة التجويف ليست كافية ، استخدم مقياس متعدد لقياس مقاومة الأرض للصفائح العلوية والسفلية للتجويف ، يجب أن تكون القيمة العادية أعلى من عشرات الميجا أوم ، إذا كانت غير طبيعية ، قم بتنظيف لوحة التجويف.
(4) إذا كانت دائرة مطابقة التردد اللاسلكي معيبة ، فتحقق مما إذا كانت الطاقة المنعكسة لمصدر التردد اللاسلكي ضمن النطاق الطبيعي. إذا كان غير طبيعي ، فتحقق مما إذا كان المكثف والحث في الدائرة المطابقة تالفين.
(5) درجة الفراغ ضعيفة للغاية ، تحقق مما إذا كانت درجة الفراغ في التجويف طبيعية.
شركة IKS PVD ، آلة طلاء الديكور ، آلة طلاء الأدوات ، آلة طلاء DLC ، آلة الطلاء البصري ، خط طلاء الفراغ PVD ، المشروع الجاهز متاح. اتصل بنا الآن ، E-mail: iks.pvd@foxmail.com
