عناصر تنظيم تدفق الغاز الفراغي

عناصر تنظيم تدفق الغاز الفراغي من حيث المبدأ ، منظم الفراغ اليدوي العام ، مع محرك تحكم مناسب (مثل محرك سيرفو ، محرك متدرج ، إلخ) أو أسطوانة هيدروليكية ، عن طريق ضبط إشارة التحكم لمحرك التحكم أو الأسطوانة الهيدروليكية ، محرك التحكم أو حركة الأسطوانة الهيدروليكية ، وتحويل توصيل تدفق صمام التفريغ ، ثم تغيير تدفق الغاز من خلال صمام الفراغ ، وإكمال درجة الفراغ لغرفة الفراغ في جهاز التفريغ من الضبط التلقائي. ومع ذلك ، في الوقت الحالي ، لا يوجد سوى ثلاثة أنواع من صمامات التحكم في تدفق الغاز الفراغي التي تنتجها الشركات المصنعة لأدوات التفريغ في الصين: صمام التحكم في التدفق الكهرومغناطيسي ، وصمام مقياس التدفق الكتلي ، وصمام التحكم في التدفق الكهروإجهادي ، وأجهزة التحكم في الضغط المحلية في الغالب تختار الصمام الكهرضغطية كغاز فراغ عنصر التحكم في التدفق. الصمام الكهرضغطية هو صمام التحكم في تدفق الغاز الفراغي المصنوع من التأثير الكهروإجهادي. جوهر الصمام الكهرضغطية عبارة عن غشاء كهرضغطية مصنوع من السيراميك الكهروضغطي. عندما يتم تطبيق جهد تحكم على غشاء خزفي كهرضغطية ، فإنه ينتج تشوهًا يتناسب مع قيمة الجهد المطبق. في نفس الوقت ، قم بقيادة الحشية للتحرك. ثم يتغير دليل التدفق للصمام الكهروإجهادي ، وبالتالي يغير تدفق الغاز عبر الصمام الكهروإجهادي. عندما لا يتم تطبيق جهد التحكم على الحجاب الحاجز الخزفي الكهرضغطية ، فإن القوة الميكانيكية للنابض ACTS على الحجاب الحاجز الخزفي الكهرضغطية وحشية الختم ، بحيث يتم إغلاق مسار هواء الصمام الكهرضغطية. وبالتالي ، يمكن تغيير تدفق الغاز عبر الصمام الكهرضغطية عن طريق تغيير حجم جهد التحكم المطبق على الحجاب الحاجز الخزفي الكهرضغطية. وبالتالي ، يمكن تعديل درجة الفراغ في غرفة التفريغ لجهاز التفريغ.

شركة IKS PVD ، آلة طلاء الديكور ، آلة طلاء الأدوات ، آلة الطلاء البصري ، خط coting الفراغ PVD. اتصل بنا الآن ، البريد الإلكتروني: iks.pvd@foxmail.com